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行業(yè)產(chǎn)品

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泓惟自動(dòng)化系統(tǒng)工程（上海）有限公司


質(zhì)量流量計(jì)BROOKS GF100

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

質(zhì)量流量計(jì)BROOKS GF100

詳細(xì)介紹

速、準(zhǔn)的MFC

加強(qiáng)了擁有EtherCAT®的速度
型號(hào) GF100 / GF101 / GF120 / GF120XSL / GF120XSD / GF121 / GF125 / GF126

針對(duì)半導(dǎo)體工藝的性能

  • 嵌入式診斷利用實(shí)時(shí)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
  • 超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設(shè)定值0.15%的漂移）使低流量更精準(zhǔn)，同時(shí)減少維修的需求
  • 改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善片晶圓效應(yīng)
  • 新增強(qiáng)的抗壓力瞬時(shí)波動(dòng)在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點(diǎn)

  • 每年<>
  • 響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 - <>
  • 流量可達(dá)到300 slpm
  • 全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
  • 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測(cè)量的重復(fù)性
  • MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺(tái)表，幾千種氣體和量程的組合，無(wú)需把MFC從管路上拆除，也不會(huì)影響精度
  • 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測(cè)和故障排查
  • GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì)，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸 

優(yōu)勢(shì)

  • 超常的性能
    • 快速反應(yīng)時(shí)間改進(jìn)應(yīng)用效率
  • 靈活的拓?fù)?br>
    • 幾乎無(wú)限的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)淇赡?/li>
  • 簡(jiǎn)單、堅(jiān)固
    • 配置，診斷以及維護(hù)
  • 負(fù)擔(dān)能力
    • 標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口

應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備
  • 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
  • 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
  • 外延工藝系統(tǒng)


關(guān)鍵詞：流量傳感器 傳感器

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