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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高純度氣體應(yīng)用Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量測(cè)量儀表和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn)，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量測(cè)量儀表和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。 最小流量范圍：0.12…6 mln/min 流量范圍： 1… 50 ln/min目前市場(chǎng)上的儀表都內(nèi)置集成數(shù)字電路板，從而使儀表具有高精度、超穩(wěn)定的溫度以及快速的反應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)（可設(shè)置的時(shí)間從 t98 可以低至500 msec）。的EL-FLOW® 設(shè)計(jì)風(fēng)格的產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，從而為客戶（OEM）提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶，布瑯軻鍶特高科技公司還提供了免費(fèi)的且方便運(yùn)用的配置軟件。特點(diǎn) 高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS) 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無密封圈） 電拋光過流部件 無塵組裝 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接： DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus

詳細(xì)介紹

高純度氣體應(yīng)用Bronkhorst金屬密封氣體質(zhì)量流量測(cè)量儀表和控制器為全金屬密封結(jié)構(gòu)，具有高性能、高質(zhì)量的特點(diǎn)，適合半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以及高純度氣體運(yùn)用場(chǎng)合。質(zhì)量流量測(cè)量儀表和控制器的表體使用的是 1/4″ VCR 連接。 最小流量范圍：0.12…6 mln/min 流量范圍： 1… 50 ln/min目前市場(chǎng)上的儀表都內(nèi)置集成數(shù)字電路板，從而使儀表具有高精度、超穩(wěn)定的溫度以及快速的反應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)（可設(shè)置的時(shí)間從 t98 可以低至500 msec）。的EL-FLOW® 設(shè)計(jì)風(fēng)格的產(chǎn)品具有多氣體/多范圍功能，從而為客戶（OEM）提供了可選的靈活性以及高效率工藝。為了方便客戶，布瑯軻鍶特高科技公司還提供了免費(fèi)的且方便運(yùn)用的配置軟件。特點(diǎn) 高精確度 (標(biāo)準(zhǔn) 0.5% Rd + 0.1% FS) 可進(jìn)行重復(fù)密封的全金屬外部密封結(jié)構(gòu)（無密封圈） 電拋光過流部件 無塵組裝 多介質(zhì)/多范圍可調(diào)節(jié)功能 模擬通訊和數(shù)字I/O, 可與如下任意集成接口連接： DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus

關(guān)鍵詞：控制器

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