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BE-AC10系列腐蝕清洗設(shè)備

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更新時間：2024-10-26 17:13:36瀏覽次數(shù)：158次

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沈陽北博電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝，其采用的工藝，特別適合大晶圓規(guī)?；a(chǎn)。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用場景：
用于硅半導(dǎo)體MEMS工藝壓力傳感器硅杯的腐蝕與清洗工藝。
主要特點(diǎn)：

設(shè)備由腐蝕和清洗兩部分組成，包括設(shè)備主體、腐蝕槽、PID恒溫系統(tǒng)、PLC工控系統(tǒng)、清洗槽、兆聲清洗及快排系統(tǒng)等部分。
腐蝕液槽外循環(huán)，槽內(nèi)均勻噴射的流體模式，腐蝕反應(yīng)均勻性更好。
槽內(nèi)直接測溫，直接加熱的方式，溫度反應(yīng)更靈敏，腐蝕溫度更均勻。
自動程序噴淋清洗，兆聲助洗，硅片清洗效果更好
所有程序可設(shè)定運(yùn)行，更精準(zhǔn)，更可靠，更省時省力。