氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)原生半導(dǎo)體極設(shè)計(jì)，兼具高速、高精、高潔凈、高穩(wěn)定、高原創(chuàng)的五大核心優(yōu)勢。最快50ms極速響應(yīng);0.02%F.S.高重復(fù)性與+0.05%F.S.高精度;具備EP/雙V潔凈度可選;HC/鎳鉻合金特殊接液材質(zhì)可選;可選全金屬密封;可選VCR/IGS/卡套連接方式;可選高、低溫機(jī)型;可選多類型通訊協(xié)議;被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造,如薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗、熱處理等設(shè)備中。