微小流量高精度控制，控制穩(wěn)定、無脈動(dòng)、無斷流，滿足薄膜沉積精密工藝要求。全流道無死區(qū)設(shè)計(jì)，低殘留、低吸附，保障超高純液體輸送潔凈度。響應(yīng)速度快、控流精度高，流量重復(fù)性好，提升成膜均勻性與產(chǎn)品良率。密封安全可靠，低泄漏率，適配易燃易爆、有毒有害特種液體，運(yùn)行更安全。數(shù)字式顯示 + 標(biāo)準(zhǔn)通訊接口，可遠(yuǎn)程監(jiān)控、自動(dòng)調(diào)節(jié)，易接入自動(dòng)化產(chǎn)線。結(jié)構(gòu)緊湊、安裝方便，耐溫耐壓范圍寬，適用于半導(dǎo)體、CVD、ALD 等設(shè)備配套。廠家直供，性能對標(biāo)進(jìn)口，供貨穩(wěn)定，性價(jià)比高，售后響應(yīng)更快。