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當前位置：格里機電（無錫）有限公司>> 7000G系列氣體7000L系列液體銷售半導體微小流量流量計生產
氣體質量流量控制器/質量流量計原生半導體極設計，兼具高速、高精、高潔凈、高穩(wěn)定、高原創(chuàng)的五大核心優(yōu)勢。最快50ms極速響應;0.02%F.S.高重復性與+0.05%F.S.高精度;具備EP/雙V潔凈度可選;HC/鎳鉻合金特殊接液材質可選;可選全金屬密封;可選VCR/IGS/卡套連接方式;可選高、低溫機型;可選多類型通訊協(xié)議;被廣泛應用在半導體制造,如薄膜沉積、刻蝕、離子注入、清洗、熱處理等設備中。
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