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JSM-IT800 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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廣州文明機(jī)電有限公司

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JSM-IT800具備高分辨觀察和高速元素面分析，能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍、新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)Neo Engine、一體化EDS、易用的操作導(dǎo)航SEM Center、及可置換的物鏡模塊。

詳細(xì)介紹

主要特點(diǎn)

■ 視頻介紹

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	JSM-IT800　SHLversion	JSM-IT800　HLversion
分辨率 (1 kV)	0.7nm	1.3nm
分辨率 (15 kV)	0.5nm	-
分辨率 (20 kV)	-	0.7nm
加速電壓	0.01 - 30 kV
檢測(cè)器	二次電子檢測(cè)器（SED）	二次電子檢測(cè)器（SED）
	高位混合檢測(cè)器（UHD）	高位電子檢測(cè)器（UED）
電子槍	浸沒(méi)式schott-plus場(chǎng)發(fā)射電子槍
入射電流	數(shù) pA - 500 nA (30 kV)	數(shù) pA - 300 nA (30 kV)
	數(shù) pA - 100 nA (5 kV)	數(shù) pA - 100 nA (5 kV)
物鏡	超級(jí)混合物鏡SHL	混合物鏡HL
樣品臺(tái)	全對(duì)中馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)
樣品臺(tái)行程	X: 70 mm， Y: 50 mm， Z: 2～41 mm，傾斜：-5～70^o，旋轉(zhuǎn)：360^o
EDS能譜儀	能量分辨率133eV以下，檢測(cè)元素B-U， 60mm²大面積檢測(cè)器