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JXA-iHP200F在保持高局部微量元素分析性能的同時(shí)，追求每個(gè)人都能簡(jiǎn)單快速地使用好儀器。該儀器能更加有效地進(jìn)行觀察分析和操作，是更的一體化集成FE-EPMA。
檢測(cè)元素范圍 | WDS: Be＊1 / B to U, EDS: Be to U |
檢測(cè)X-ray 范圍 | 波長(zhǎng)范圍WDS: 0.087 to 9.3 nm 能量范圍EDS: 20 keV |
譜儀數(shù) | WDS: 最多5個(gè)可選, EDS: 1個(gè) |
樣品尺寸 | 100 mm × 100 mm × 50 mm (H) |
加速電壓 | 1 to 30 kV (0.1 kV steps) |
探針電流范圍 | 1 pA to 3 μA |
探針電流穩(wěn)定性 | ± 0.3％ / h, ± 1.0％ /12 h＊2 |
二次電子像分辨率（觀察模式） | 2.5 nm |
二次電子像分辨率（分析模式下）
| 20 nm（ 10 kV, 10 nA） 50 nm（ 10 kV, 100 nA） |
掃描放大倍率 | ×40 to 300,000 (W.D. 11 mm) |
掃描圖像分辨率 | Maxium 5,120 × 3,840 |
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