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上海精切半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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上海精切半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間：2024-11-20 17:07:54瀏覽次數(shù)：215次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 塑料機(jī)械網(wǎng)前置掛載安裝2"空氣軸承主軸，60krpm時(shí)2.4KW
前置掛載安裝 2" 空氣軸承主軸，60krpm時(shí)2.4KW。直流無(wú)刷電機(jī)，閉環(huán)速度控制。兼容 2"-3" 輪轂和無(wú)輪轂刀片。覆蓋 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(pán)（不帶框架）。
系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺(tái)，針對(duì)大面板和多面板進(jìn)行優(yōu)化，例如:
? 12"和8"硅晶圓? SAW過(guò)濾器
大面積系統(tǒng)配置：300mm x 300mm
刀片尺寸：2"-3"
主軸：空氣軸承，直流無(wú)刷，60 krpm/2.4 kW
大功率2.4kW主軸（可選件）
分度軸（y）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
控制：線性編碼器
分辨率: 0.2 µm
累積精度: 1.5 µm
分度精度: 1.0 µm
傳送軸（X）
氣動(dòng)滑塊
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)
傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸（z）
驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)
分辨率: 0.2 µm
精度: 2.0 µm
重復(fù)精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋轉(zhuǎn)編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達(dá)3" - 可選
旋轉(zhuǎn)軸 (?)
驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷
精度: 4 arc-sec
重復(fù)精度: 4 arc-sec
行程: 350 deg.
視覺(jué)系統(tǒng)
數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明（直射和斜射）
x55-x210或x35-x140（可選）連續(xù)數(shù)字變焦。
設(shè)施
電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相
氣源: 260 L/min @ 5.5 bar
主軸冷卻水：1.1 L/min廠務(wù)端用水
切割用水：3L/min
尺寸（WXDXH）
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg
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