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深圳市智佳能自動化有限公司
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所 在 地深圳市
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更新時間：2024-12-18 18:29:08瀏覽次數(shù)：250次
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晶圓外觀檢測機(jī) Z21130
設(shè)備功能
⚪ 晶圓類：Mini LED晶圓、光敏二極管。
⚪ 正面：電極（缺陷、刮傷/刮痕、臟污、多金、鼓泡、方向）發(fā)光區(qū)（多胞、剝落、磊晶、崩邊、變形、殘留）隔離槽（臟污、劃裂、超標(biāo)、劃傷、崩缺）。
⚪ 反面：切割不良、凹凸點、崩缺、失晶。
產(chǎn)品亮點
⚪ 搭配3種倍率鏡組，使用者可針對晶粒或瑕疵尺寸選擇檢測倍率，系統(tǒng)搭配最小解析度為0.5um，通常可以檢測1.5um左右的瑕疵尺寸。
⚪ 使用的打光成像技術(shù)，結(jié)合明暗光場方式和光源角度、亮度及取像模式，可對應(yīng)不同種類缺陷成像。
⚪所有檢測結(jié)果都會存檔記錄，提供瑕疵原始資料有助于分析生產(chǎn)瑕疵優(yōu)勢。
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