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行業(yè)產(chǎn)品

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司


機(jī)械手指

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時(shí)間：2024-12-19 17:07:45瀏覽次數(shù)：76次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體后道工序設(shè)備

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)

    可用于6、8、12寸晶圓的非接觸式End-Effector，非常適合減薄晶圓，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體后道工序設(shè)備
    通過(guò)使用晶圓樣品進(jìn)行實(shí)際的驗(yàn)證傳輸測(cè)試，可以按照客戶的需要，針對(duì)不同尺寸，翹曲量，晶圓厚度的任意形狀的晶圓進(jìn)行機(jī)械手指的定制設(shè)計(jì)

  • 利用伯努利原理產(chǎn)生的氣流壓力差吸附晶圓
  • 通過(guò)夾持晶圓邊緣的方式限制晶圓在傳輸過(guò)程中可能發(fā)生的位置偏移
  • 除去晶圓邊緣和夾持卡爪之間的接觸之外，晶圓表面不會(huì)和手指的其他部分發(fā)生接觸
  • 不同尺寸的晶圓需要使用不同的機(jī)械手指
  • 相對(duì)于真空吸附方式的機(jī)械手指，伯努利原理機(jī)械手指的吸附力會(huì)分散在整個(gè)晶圓表面，更適合于減薄晶圓的傳輸
  • 由于機(jī)械手指不接觸晶圓的正反面，所以能夠滿足不希望在傳輸過(guò)程中接觸晶圓正反面的特殊用戶需求

應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

半導(dǎo)體后道工序設(shè)備

規(guī)格
材質(zhì) 鋁
表面處理 黑色表面陽(yáng)極氧化
晶圓固定方式 旋風(fēng)式真空吸盤提供吸力，夾持卡爪（PEEK）用于晶圓邊緣固定
（和晶圓表面接觸部分的材質(zhì)可以定制生產(chǎn)）
配套設(shè)施 30～80 L/min（隨搬運(yùn)物的尺寸，厚度變化）

關(guān)鍵詞：機(jī)械手 PEEK

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