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東莞科卓機(jī)器人有限公司


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晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地東莞市

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更新時(shí)間：2024-12-26 15:22:43瀏覽次數(shù)：154次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：魏先生

產(chǎn)品簡介

主要是要將晶圓上的每一顆晶粒（Die）切割分離。首先將晶圓（Wafer）的背面貼上一層膠帶（Wafer Mount），之后通過自動(dòng)上料機(jī)構(gòu)將其送至晶圓切割機(jī)內(nèi)部，用單獨(dú)的die通過高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片切割開來，切割完后，一顆顆的晶粒會(huì)井然有序的排列黏貼在膠帶上，然后再通過搬運(yùn)手臂搬運(yùn)至清洗區(qū)域離心清洗，過程用離子水（DI純水）沖去切割產(chǎn)生的硅渣和釋放靜電，清洗完后的晶圓通過搬運(yùn)手臂推回料盒中。

詳細(xì)介紹

晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）

主要是要將晶圓上的每一顆晶粒（Die）切割分離。首先將晶圓（Wafer）的背面貼上一層膠帶（Wafer Mount），之后通過自動(dòng)上料機(jī)構(gòu)將其送至晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）內(nèi)部，用單獨(dú)的die通過高速旋轉(zhuǎn)的金剛石刀片切割開來，切割完后，一顆顆的晶粒會(huì)井然有序的排列黏貼在膠帶上，然后再通過搬運(yùn)手臂搬運(yùn)至清洗區(qū)域離心清洗，過程用離子水（DI純水）沖去切割產(chǎn)生的硅渣和釋放靜電，清洗完后的晶圓通過搬運(yùn)手臂推回料盒中。

晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）設(shè)備視頻

晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）設(shè)備特點(diǎn)

  • 高精度 高穩(wěn)定性的機(jī)械結(jié)構(gòu)及傳動(dòng)部件，精度高， 速度快。
  • 整機(jī)性能穩(wěn)定，外形美觀，功率低，高精密工作平臺(tái)，精度高，速度快。
  • 高精度CCD自動(dòng)定位，自動(dòng)校正識(shí)別。
  • 可適應(yīng)8英寸及12英寸晶圓，陶瓷基板，玻璃基板，Mini LED燈板。
  • 編輯軟件簡單易懂，可迅速掌握操作方法，人機(jī)交換界面，實(shí)時(shí)監(jiān)控生產(chǎn)狀態(tài)，生產(chǎn)計(jì)劃，了解生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

    • 晶圓切割機(jī)（晶圓劃片機(jī)）設(shè)備參數(shù)

    項(xiàng)目 參數(shù)值
    設(shè)備名稱 晶圓切割機(jī)
    設(shè)備型號(hào) QWD-1202A
    工作物尺寸 φ300mm
    X軸 可切割范圍 310mm
    進(jìn)刀速度輸入范圍 0.1-1000mm/s
    Y1·Y2軸 可切割范圍 310mm
    單步步進(jìn)量 0.001mm
    Y軸定位精度 0.003mm以內(nèi)/310
    單一.002以內(nèi)/5
    Z1·Z2軸 有效行程 14.7mm(使用φ2"切割刀時(shí)）
    移動(dòng)量解析度 0.00005mm
    重復(fù)精度 0.001mm
    可使用的切割刀片直徑 φ58mm(使用φ2"切割刀時(shí)）
    θ軸 旋轉(zhuǎn)角度 270°
    主軸 運(yùn)行速度范圍( rpm) 10000~60000
    功率(KW) 1.8/2.4 at 60000 rpm
    扭矩（N-m） 0.3/0.4 (15000~60000 rpm)
    可使用的框架尺寸 8-12寸
    其他規(guī)格 電源 三相AC380
    設(shè)備尺寸 1850*1520*1850mm（長x寬x高）
    設(shè)備重量 約2500KG

    關(guān)鍵詞：切割機(jī) 上料機(jī)
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