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JIMA RT RC-04分辨率測(cè)試卡是一種用于設(shè)置和測(cè)試微焦 X 射線(xiàn)系統(tǒng)的光刻生產(chǎn)的測(cè)試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率,對(duì)應(yīng)于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線(xiàn)束應(yīng)用于硅載體。
每個(gè)測(cè)試圖案由 8 條線(xiàn)組成,T 形布局
吸收材料:鎢,厚度>=650nm
保護(hù)膜:PET膜25μm(含粘合劑)
硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)
外殼尺寸:40 x 30 x 5 毫米(寬 x 高 x 深)
芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(寬 x 高 x 深)
精度模式: 公差: +/- 10%
適用范圍工作溫度:10°C至70°C



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