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高真空高溫蒸發(fā)提純爐

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更新時間：2026-07-27 10:57:12瀏覽次數(shù)：53次

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成都超邁光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

高真空高溫蒸發(fā)提純爐

詳細(xì)介紹

1. 加熱方式：中頻感應(yīng)或電阻加熱，匹配專用高精度加熱電源，可調(diào)可控；

2. 工作溫度：溫度2600℃長期運行，可選配900℃、1300℃、1700℃、2300℃和2600℃，根據(jù)不同的工作溫度選用加熱方式和保溫材料，匹配專用熱場。

3. 儀表控溫精度：0.3級，根據(jù)客戶實際使用溫度選配熱電偶，選用進(jìn)口30段溫控儀，匹配全數(shù)字化功率控制器，溫度控制精度±1℃，過沖不超過2℃；

4. 坩堝尺寸：根據(jù)客戶需求定制，可選擇坩堝尺寸和熱均勻區(qū)大小，若選熱均勻區(qū)大小，溫度偏差不超過2%，坩堝可選用鎢鉬、銥金、石墨和石英等難熔材料（銥金坩堝客戶自行采購）；

5. 具有升溫速率調(diào)節(jié)功能，二路質(zhì)量流量計（可選），可選配氫氣保護(hù)條件下退火，默認(rèn)保護(hù)氣體為氮氣、氬氣，準(zhǔn)確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S，重復(fù)精度±0.2% F.S；；

6. 極限真空度：優(yōu)于8×10^-4 Pa（冷態(tài)、空載），選用分子泵系統(tǒng)為8×10^-5 Pa；

7. 真空排氣機(jī)組采用水冷方式，默認(rèn)為擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng)，若對潔凈度有苛刻要求可選配分子泵無油真空系統(tǒng)；

8. 設(shè)備的漏率：低于6.0×10^-7 Pa·m3/s，全是用SUS304不銹鋼制造，內(nèi)拋光外電解或酸洗工藝；

9.真空測量：兩路電阻規(guī)，一路電離規(guī)；對真空室和真空管道分別精確監(jiān)控，帶數(shù)據(jù)通訊，測量范圍：1×10⁵～1×10^-5Pa，電阻規(guī)和電離規(guī)均采用防爆型金屬封結(jié)真空規(guī)。
10.標(biāo)準(zhǔn)配置為西門子PLC+人機(jī)界面，能夠執(zhí)行自動抽真空、自動溫壓強、自動加熱、自動運行存儲工藝和自動報警功能。

關(guān)鍵詞：控制器流量計 PLC

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