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surpass電磁耦合磁控濺射

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:51條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:zhang (運(yùn)營(yíng)經(jīng)理)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成,同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。 真空腔體:φ900X1050,雙層水冷;(可根據(jù)實(shí)際需求定制) 真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng); 真空抽速:4000-7000L/S,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),全金屬防爆真空規(guī); 極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定) 磁控靶組件:4個(gè)矩形靶,4個(gè)圓柱靶,根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源; 離子源:2套線性離子源,匹配專用電源; 氣路:4路反應(yīng)氣體,進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì),1路毛細(xì)保護(hù)氣路; 烘烤溫度:400℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu); 工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套(標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積),工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛; 控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。 特別說(shuō)明:該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制,獲得國(guó)家科技進(jìn)步、國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)......

詳細(xì)介紹

設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測(cè)量系統(tǒng)組成,同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。
      真空腔體:φ900X1050,雙層水冷;(可根據(jù)實(shí)際需求定制)
      真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng);
      真空抽速:4000-7000L/S,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),全金屬防爆真空規(guī);
      極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定)
      磁控靶組件:4個(gè)矩形靶,4個(gè)圓柱靶,根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;
      離子源:2套線性離子源,匹配專用電源;
      氣路:4路反應(yīng)氣體,進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì),1路毛細(xì)保護(hù)氣路;
      烘烤溫度:400℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);
      工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套(標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積),工件盤裝夾移動(dòng)小車一輛;
      控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。
      特別說(shuō)明:該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制,獲得國(guó)家科技進(jìn)步、國(guó)家科技發(fā)明獎(jiǎng)、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎(jiǎng)勵(lì),公司提供一攬子技術(shù)解決方案,同時(shí)與合作伙伴共享知識(shí)產(chǎn)權(quán)。

關(guān)鍵詞:流量計(jì) PLC

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