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成都超邁光電科技有限公司
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真空腔體:根據(jù)客戶需求定制。
真空漏率:1X10-6Pa.L/S;
極限真空優(yōu)于5X10-5Pa,標(biāo)準(zhǔn)配置分子泵系統(tǒng)。
加熱功率:小于12KW;
溫控儀表:配置觸摸屏溫控儀和專用溫控儀表,自主編程的溫控系統(tǒng),配置功率控制器,帶有方便的溫度分配和功率分配接線端;
腔體:功能材料透明腔體,直徑不低于240mm,耐高溫不低于1000℃,短期工作可達(dá)到1200℃。
溫度隔離罩:配置專用溫度隔離罩,降低環(huán)境溫度對(duì)系統(tǒng)的影響,同時(shí)具有安全隔離功能。
配置2套坩堝,并設(shè)有陶瓷封結(jié)的溫度傳感器,精度為:±1℃,過(guò)沖不超過(guò)2℃;
配置2套基片溫度平衡系統(tǒng),配置進(jìn)口精密耐高溫專用傳感器,精度為:±1℃,響應(yīng)速度極快,特別適合超精密溫度控制;
配置能量反射屏一套,配置有專用沉積環(huán)境倉(cāng),沉積反應(yīng)倉(cāng)可擴(kuò)展至水冷系統(tǒng);
配置移動(dòng)小車一套,并配置不銹鋼安裝板和推手,配置福馬輪4套,可根據(jù)客戶實(shí)際需求設(shè)計(jì)為一體機(jī)和桌面式;
配置有SUS304柔性真空管路和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)件;
配置三路復(fù)合真空計(jì)一套,帶RS485控制端口,配置有不銹鋼毛細(xì)管路泄壓閥,可以沉積柔性薄膜材料;
可選配潔凈無(wú)油高真空真空系統(tǒng)。
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