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嚴(yán)質(zhì)掃描四探針方阻儀

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上海嚴(yán)質(zhì)檢測(cè)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品應(yīng)用CHT-4500RH是專為科學(xué)研究設(shè)計(jì)的掃描四探針電阻測(cè)試儀，可以對(duì) 200mm 樣品（或 8 英寸晶圓）進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描，獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝，使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針，確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性（接近真實(shí)場(chǎng)景）可達(dá)0.2%，為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測(cè)量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景，可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

1）可對(duì)樣品進(jìn)行 49 點(diǎn)、81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描等測(cè)試；統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)生成 2D 和 3D 的 map 圖；

2）屏蔽測(cè)試，消除光對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性；
3）真空吸附防止全自動(dòng)測(cè)試過程中樣品移動(dòng)對(duì)測(cè)試的影響；
4）一體化嵌入式設(shè)計(jì)，觸控電腦屏幕操作，手指點(diǎn)點(diǎn)就可以完成操作。

四探針電阻測(cè)試儀不僅是工程和物理學(xué)的勝利，也是工程和物理學(xué)的勝利。四探針是一種實(shí)用工具，在各個(gè)行業(yè)都有多種應(yīng)用。四探針適用于半導(dǎo)體及太陽能電池（單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦）、液晶面板（ITO/AZO）、功能材料（熱電材料、碳納米管、石墨烯、納米線、導(dǎo)電纖維、復(fù)合材料）、半導(dǎo)體工藝檢測(cè)（金屬化/離子注入/擴(kuò)散層）、非晶合金等、形狀記憶合金、半導(dǎo)體制造等多個(gè)行業(yè)。

四探針測(cè)量?jī)x是一種常用的用于測(cè)量電子材料(如硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)等半導(dǎo)體材料的電阻率以及用于電子器件的薄膜(薄層)的電阻率值的測(cè)量工具。

CHT-4500RH是專為科學(xué)研究設(shè)計(jì)的掃描四探針電阻測(cè)試儀，可以對(duì) 200mm 樣品（或 8 英寸晶圓）進(jìn)行快速、自動(dòng)的掃描，獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝，使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針，確保高機(jī)械精度和長(zhǎng)使用壽命。動(dòng)態(tài)測(cè)試重復(fù)性（接近真實(shí)場(chǎng)景）可達(dá) 0.2%，為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測(cè)量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場(chǎng)景，可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。

CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針測(cè)試系統(tǒng)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合全自動(dòng)測(cè)量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過全自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，對(duì)晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測(cè)量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個(gè)晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

CHT-4500RH 型四探針自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測(cè)量技術(shù)，將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，其最后計(jì)算結(jié)果能自動(dòng)消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對(duì)測(cè)量結(jié)果的不利影響。因而在測(cè)試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動(dòng)態(tài)地對(duì)以上不利因素的自動(dòng)修正，顯著降低了其對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響，從而提高了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。

CHT-4500RH 型全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)擁有友好操作測(cè)試界面，通過此測(cè)試程序輔助用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試操作，把采集到的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以 Excel 表格，2D、3D 等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看。

全自動(dòng)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)

型號(hào)	CHT-4500RH
測(cè)量范圍	電阻率： 10-5～105?.cm；方塊電阻： 10-4～106?/□；
可測(cè)晶片尺寸	2 英寸～12 英寸；（太陽能電池片≤210mm*210mm）
恒流源	電流量程分為 1µA、10µA、100µA、1mA、10mA、100mA 六檔。
采樣電壓范圍	量程： 000.00～199.99mV；（低阻擴(kuò)展時(shí)，量程： 00.000～19.999mV）分辨力： 10μ V；（低阻擴(kuò)展時(shí)，分辨力： 1μ V）輸入阻抗：＞1000MΩ；精度：± 0.1%；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距： 1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000M?；機(jī)械游移率：≤0.3％；探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm；探針壓力： 5～16 牛頓(總力)；
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差	0.01?、 0.1?、 1?、 10?、 100?、 1000?、 10000?≤0.2％
整機(jī)測(cè)量相對(duì)誤差	（用硅標(biāo)樣片:0.003-500Ω .cm 測(cè)試）≤± 3%（ 23℃）
重復(fù)性	≤± 0.5%
最小去邊距離	3mm
自動(dòng)測(cè)試選點(diǎn)方式	49 點(diǎn)、 81 點(diǎn)、中心 1 點(diǎn)、中心 10 點(diǎn)、中心半徑 5 點(diǎn)、中心邊緣 5 點(diǎn)、中心半徑邊緣 9 點(diǎn)、直徑掃描。
測(cè)試數(shù)據(jù)處理	以 Excel 格式文件表格記錄測(cè)試數(shù)據(jù)，并生成 2D、3D 的 map 圖。用戶可對(duì) 采集的數(shù)據(jù)在 Excel 中進(jìn)行進(jìn)一步的各種數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析。
屏蔽和吸附測(cè)試	對(duì)樣品進(jìn)行屏蔽和真空吸附測(cè)試，消除光和全自動(dòng)測(cè)試過程中樣品移動(dòng) 對(duì)樣品測(cè)試的影響，保證測(cè)量的準(zhǔn)確性。
外形尺寸	580mm× 475mm× 450mm（深×寬×高）
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度： 23±2℃；相對(duì)濕度：≤65％；無高頻干擾