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ALICAT 氣體質(zhì)量流量控制器 01系列

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更新時間：2026-07-03 10:28:14瀏覽次數(shù)：46次

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雙虎科技（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

量程100 SCCM - 50 SLPM，優(yōu)于2%精度，優(yōu)于100 ms響應(yīng)時間，體積小巧精致，適合系統(tǒng)集成ALICAT 01系列質(zhì)量流量控制器，采用了熱帖片式原理，而且克服了熱式對于預(yù)熱時間的要求，01系列的預(yù)熱時間僅需要70ms，且保證了流量控制的穩(wěn)定性和精確度。01系列測量和控制范圍高達(dá)0.5 ~ 99%，可以滿足更多的客戶流量控制應(yīng)用場合。材質(zhì)上，01系列采用了316不銹鋼主體，F(xiàn)KM密封，并具備較強的抗振動性能。使用上，配備了RS-485及0-5 VDC通過9針的工業(yè)插頭可輕松實現(xiàn)數(shù)字、模擬信號的測控。維護(hù)上影響設(shè)備壽命與精度的是被測氣體的品質(zhì)，該系列設(shè)計用于測控潔凈、干燥、無腐蝕性的氣體。儀器無需定期清潔。如有必要，用柔軟的干抹布擦拭設(shè)備外部即可。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特色

● 價格低廉，

● 超小的體積，輕松置于掌心，適合系統(tǒng)集成

● 快速響應(yīng)，優(yōu)于70 ms的預(yù)熱時間

● 壓損極低，滿量程僅為1KPa

● 內(nèi)置精巧的PD閥（比例微分閥），控制穩(wěn)定、精確

● 測量和控制范圍0.5 ~ 99%滿量程，一臺設(shè)備適用于多個應(yīng)用

● 配備模擬控制和數(shù)字控制

● 的抗振性能，可適用于鐵路焊機(jī)等嚴(yán)格場合

應(yīng)用及案例

● 醫(yī)療設(shè)備配套

● 環(huán)境分析儀器配套

● 光譜色譜分析儀器配套

● 其它氣體流量測控行業(yè)

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求潔凈、干燥、無腐蝕性氣體

介質(zhì)種類每臺設(shè)備只能選ABC其中的一種：

A：空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣、一氧化二氮，可通過RS485切換

B：僅支持氫氣

C：僅支持氦氣

量程 0 - 100 SCCM ，0 - 1000 SCCM， 0 - 20 SLPM， 0 - 50 SLPM

（注：選擇CO2和N2O后量程降低為原來的75%。）

測量和控制范圍 1 ~ 99% （0-100 SCCM）

0.5 ~ 99% （0-1000 SCCM、0-20 SLPM、0-50 SLPM）

可控流量 102 % 滿量程

精度 ±（1.5 % 讀數(shù) + 0.5 % 滿量程）

重復(fù) 性 ± 0.5 % 讀數(shù)

質(zhì)量流量溫度漂移 ± 0.2 % 滿量程 / ℃

零點漂移&滿量程漂移 0.05%滿量程/年

響應(yīng)時間優(yōu)于100 ms

預(yù)熱時間 70 ms

標(biāo)定工況 25℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度 0 ～ 50℃

工作濕度 < 90="">

工作壓力 0-100 SCCM、0-1000 SCCM為1MPa，

0-20 SLPM、0-50 SLPM為60 PSIG

滿量程壓損 1 KPa

數(shù)字輸入/輸出信號 RS485、RS232、Modbus

模擬輸入/輸出信號 0 - 5 VDC、4 - 20 mA

供電電壓 10-30 VDC

供電電流 200 mA

閥門泄漏率內(nèi)漏：10-5 Atm – cc/sec He

外漏：10-9 Atm – cc/sec He

材質(zhì) 主體材質(zhì)：316不銹鋼

閥體材質(zhì)：黃銅

密封材質(zhì)：FKM （Viton）

傳感器：氮化硅

過程連接 NPT 內(nèi)螺紋

振動 20g；MIL-STD-883E, Method 2002.4

安裝方式對位置無要求

防護(hù)等級 IP40

認(rèn) 證 CE、RoHS、REACH

尺寸壓損

設(shè)備滿量程	對大氣滿量程壓損（KPa）	機(jī)械尺寸	過程連接尺寸
0 ~ 100 SCCM	1	2.6''H ×2.5''W ×0.9''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
0 ~ 1000 SCCM	1	2.6''H ×2.5''W ×0.9''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
0 ~ 20 SLPM	35	3.0''H ×2.8''W ×0.9''D	3/8''NPT內(nèi)螺紋
0 ~ 50 SLPM	咨詢我們	2.7''H ×4.0''W ×1.4''D	3/8''NPT內(nèi)螺紋