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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-低壓損型 20W系列

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雙虎科技（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，測量范圍廣，優(yōu)于10 ms響應(yīng)時間美國ALICAT 20W系列低壓降質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進行修正。具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。20W系列具有超低壓損，滿量程壓損可達360Pa?？捎糜诳焖倬_地測量過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場合。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：可優(yōu)于0.5%

● 可測范圍廣，0.01~99%

● 滿量程超低壓損為360Pa

● 響應(yīng)時間快，優(yōu)于10 ms

● 內(nèi)置98種氣體

● 可現(xiàn)場標(biāo)定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

精度升級

量程為0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指標(biāo)升級：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.75% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.6% 讀數(shù)或± 0.1% 滿量程（取值）

重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點漂移 ± 0.03% 滿量程 / ℃溫差± 0.01% 滿量程 / Atm壓力差

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀數(shù) / ℃溫差± 0.1 % 讀數(shù) / Atm壓力差

技術(shù)指標(biāo)

介質(zhì)要求非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM

測量范圍 0.01～99%

顯示流量 128%滿量程

顯示屏帶按鍵背光開關(guān)，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ± （0.8%讀數(shù) + 0.2%滿量程）見上段精度升級部分

± （0.4%讀數(shù) + 0.2%滿量程）（可選）

累計流量精度流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重復(fù) 性 ±（0.2%讀數(shù)+0.02%滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移 0.03%滿量程當(dāng)溫度從25℃起每變化1℃

質(zhì)量流量壓力漂移 ±（0.08 % 讀數(shù) + 0.02 % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar

響應(yīng)時間優(yōu)于10 ms

預(yù)熱時間 < 1="">

標(biāo)定工況 25 ℃&1 Atm（可現(xiàn)場在測量范圍內(nèi)隨意更改）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度 ± 0.75 ℃

工作濕度 0 ～ 95 %，無冷凝

工作壓力 0.3 MPa表壓，進出口允許瞬時壓差70 Kpa

操作壓力如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓80 KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度 ±0.5%讀數(shù)（讀數(shù)＞1 Atm），或±0.1PSIA（＜1Atm）

滿量程壓損參考詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20mA

可選第二路模擬輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度在基礎(chǔ)誤差上額外增加 ± 0.1 % 滿量程誤差

供電電壓 7 - 30 VDC（如選4 - 20 mA輸出，須為15 - 30 VDC）

供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材質(zhì) 302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁

過程連接詳情參考壓損表

安裝方式對位置無要求

防護等級 IP40

認(rèn) 證 ISO 9001、NIST溯源認(rèn)證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

選項配件

●標(biāo)準(zhǔn)性能
多功能數(shù)字顯示屏
顯示多種測量參數(shù)：質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預(yù)熱
Viton密封
8針mini-DIN電信號接口
標(biāo)準(zhǔn)圓形電源接口
RS-232多點式數(shù)字輸出
RS-232多點式數(shù)字輸入 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
可調(diào)節(jié)PID算法 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
內(nèi)置30種氣體可選
200:1 量程可調(diào)比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質(zhì)保

●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數(shù)字信號輸出
ProfiBUS數(shù)字信號輸入(僅用于質(zhì)量流量控制器)
RS-485數(shù)字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質(zhì)量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠(yuǎn)程顯示屏
遠(yuǎn)程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環(huán)境的遠(yuǎn)程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標(biāo)定點
定制混個氣體（最多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質(zhì)量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質(zhì)量流量控制器)

機構(gòu)認(rèn)證

待更新。

尺寸壓損

滿量程質(zhì)量流量計	滿量程壓損1（PSID）排氣到大氣中	外觀尺寸	過程連接尺寸1
0.5 ~ 5 SCCM	0.07 PSID	3.897''H x 2.375''W x 1.050''D	M5 內(nèi)螺紋（10-32兼容）2
10 ~ 20 SCCM	0.07 PSID	3.897''H x 2.375''W x 1.050''D	M5 內(nèi)螺紋（10-32兼容）2
50 SCCM ~ 5 SLPM	0.07 PSID	4.067''H x 2.375''W x 1.050''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋
5 SLPM	0.07 PSID	4.167''H x 2.375''W x 1.050''D	1/8'' NPT 內(nèi)螺紋
10 SLPM	0.08 PSID	4.207''H x 2.625''W x 1.050''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
20 SLPM	0.25 PSID	4.367''H x 4.000''W x 1.600''D	1/4'' NPT 內(nèi)螺紋
40 SLPM	0.12 PSID	4.967''H x 4.000''W x 1.600''D	1/2'' NPT 內(nèi)螺紋
50 SLPM	0.14 PSID		3/4'' NPT 內(nèi)螺紋
100 SLPM	0.24 PSID
250 SLPM	0.60 PSID
500 SLPM	0.39 PSID	5.287''H x 5.200''W x 2.900''D
1000 SLPM	0.24 PSID	6.267''H x 5.200''W x 3.840''D	2'' NPT 內(nèi)螺紋
1、有關(guān)可用的進程連接選項，請，例如：壓縮、表面密封、推入式連接、BSPP、SAE或Swagelok®（包括管子、VCO和VCR）。 2、與Buna-N O型密封圈一起裝箱至1/8“內(nèi)螺紋NPT接頭。