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ALICAT 氣體質(zhì)量流量計-抗腐蝕型 20S系列

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更新時間：2026-07-03 10:48:09瀏覽次數(shù)：65次

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雙虎科技（北京）有限公司

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產(chǎn)品簡介

量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，優(yōu)于1 %的精度，測量范圍廣，優(yōu)于10 ms 響應時間美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質(zhì)量流量計，采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書?？删_、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

詳細介紹

產(chǎn)品特色

● 數(shù)字化產(chǎn)品

● 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優(yōu)于0.5%

● 可測范圍廣，1～99%滿量程

● 響應時間快，優(yōu)于10 ms

● 內(nèi)置130種常規(guī)以及腐蝕性氣體

● 可現(xiàn)場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

應用及案例

● 大學/研究所

● 泄漏檢測

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半導體

● 汽車制造

● 計量校準

● 過程工藝氣體測量

技術(shù)指標

介質(zhì)要求潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質(zhì)種類內(nèi)置了130種氣體，請參考背面

一臺設備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量程從0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測量范圍 1～99%滿量程

顯示流量 128 %滿量程

顯示屏帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精度 ±（0.8 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）

±（0.4 %讀數(shù) + 0.2 %滿量程）（可選），僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度流量精度之外增加 ± 0.5 % 額外誤差

重復性 ± 0.2 %滿量程

零點和量程漂移 0.02% 滿量程 / ℃ / Atm

響應時間優(yōu)于10 ms

預熱時間＜1 s

標定工況 25 ℃ & 1 Atm（其它標況可調(diào)）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度 ±0.75℃

工作濕度 0 ～99%，無冷凝

工作壓力 1 MPa 表壓

操作壓力如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80KPaA以上使用；其他真空壓力建議做特殊標定

進出口壓差 0.5 MPa

滿量程壓損參考詳細壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率數(shù)字信號40 Hz@ 19200波特率；

模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

數(shù)字輸入/輸出信號 RS232、RS485、Modbus RTU（RS-232/RS-485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*

模擬輸入/輸出信號 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓 7-30 VDC （如選4-20 mA輸出，須為15 - 30 VDC ）

供電電流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）

電氣接口 DB9，可選DB15、6針工業(yè)接頭、8針Mini-DIN

泄漏率（外漏）選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材質(zhì) 316L不銹鋼、303不銹鋼、430FRSS、FFKM（Kalrez)，可根據(jù)特殊氣體選用Viton、EPDM、Buna、Neoprene

過程連接詳情參考壓損表

安裝方式對位置無要求

防護等級 IP40

認證 ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA （可選）

*如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及供電電流需來電垂詢

尺寸壓損

滿量程質(zhì)量流量計	滿量程壓損1（psid）排氣到大氣中	機械尺寸	管道連接接口2
0.5 sccm - 1 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）（Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)）
2 sccm - 50 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內(nèi)螺紋）（Buna-N表面密封至1/8''NPT內(nèi)）
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.6''H ×2.4''W ×1.1''D	1/8''NPT內(nèi)螺紋
50 slpm	2.0	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
100 slpm	2.5	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內(nèi)螺紋
250 slpm	2.1	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	1/2''NPT內(nèi)螺紋
500 slpm	4.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	3/4''NPT內(nèi)螺紋（2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內(nèi)螺紋）
1000 slpm	6.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D
1500 slpm	9.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
2000 slpm	5.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
3000 slpm	7.1	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內(nèi)螺紋
5000 slpm	3.4	7.0''H ×5.2''W ×3.9''D	2''NPT內(nèi)螺紋
1、見公制圖紙； 2、與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉(zhuǎn)接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。