智能氣路控制儀是基于熱式氣體質量流量控制器,來進行多種氣體混合,濃度稀釋的一種裝置??筛鶕?jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍,并利用軟件進行控制。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
? 流量監(jiān)測、記錄 ? 自動多段進氣
? 濃度自動配比 ? 多種氣體可選
? MFC 故障監(jiān)測 ? 超壓檢測與報警處理
? 無線通訊控制(可定制) ? 手機APP監(jiān)測(可定制)
產(chǎn)品參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 智能氣路控制儀 | |
項目 | 參數(shù) | 備注 |
流量范圍 | 標準四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制,至大量程不超過30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可選 |
響應時間 | 2秒 | |
重復性 | 0.2%F.S. | 單路重復精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 標配,位于總出氣口,常閉截止閥 |
整機尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×寬×高 |
供電電壓 | 220VAC | 100W |
單項功能 | √ | 4路標配,位于混氣前,避免氣體返流 |
自動進氣 | √ | 4路標配,按時間和流量自由編輯 10段數(shù)據(jù)點,3組數(shù)據(jù)切換,任意循環(huán)(定制) 可實現(xiàn):濃度配氣,時間配氣,壓力配氣 |
自動報警 | √ | 標配,自動報警,自動關斷,實時監(jiān)控設備狀態(tài) |
數(shù)據(jù)處理 | √ | 標配,數(shù)據(jù)記錄保存,導出到U盤進行存儲 |
外接通訊 | 可選 | MODBUS-RTU |
漏率 | <1×108atm.cc /sec He | |






















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