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晶圓激光開槽設(shè)備(low-k)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州德龍激光股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/11/25 17:13:28
  • 訪問(wèn)次數(shù)142
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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蘇州德龍激光股份有限公司成立于2005年,位于蘇州工業(yè)園區(qū),由中、澳兩方投資創(chuàng)立,致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類工業(yè)應(yīng)用激光設(shè)備,德龍激光深耕于激光精細(xì)微加工領(lǐng)域,利用超快激光技術(shù),為各種超薄、超硬、脆性、柔性、透明材料提供激光解決方案。憑借的激光發(fā)生器技術(shù)、高精度運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)以及深厚的激光微加工工藝積累,聚焦于半導(dǎo)體、顯示、5G等行業(yè)的激光工業(yè)應(yīng)用,用激光賦能現(xiàn)代制造。 公司是國(guó)家火炬計(jì)劃重點(diǎn)企業(yè)、江蘇省、、、聯(lián)合認(rèn)定的企業(yè)、江蘇省科技型中小企業(yè)、江蘇省創(chuàng)新型企業(yè)、蘇州市創(chuàng)新先鋒企業(yè)、蘇州工業(yè)園區(qū)高成長(zhǎng)性企業(yè),建有江蘇省認(rèn)定企業(yè)技術(shù)中心、江蘇省太陽(yáng)能電池激光加工工程技術(shù)研究中心、江蘇省激光材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、蘇州工業(yè)園區(qū)博士后科研工作站分站等高規(guī)格、高水平的技術(shù)研發(fā)平臺(tái)。 公司一貫重視在研發(fā)方面的投入,培養(yǎng)了一支包括激光、光學(xué)、機(jī)械、電子、控制、軟件和工藝等專業(yè)的工程師隊(duì)伍,建有各類激光應(yīng)用超凈實(shí)驗(yàn)室和潔凈生產(chǎn)車間,并配備了的紫外激光加工系統(tǒng)、超短脈沖微加工系統(tǒng)以及各種精密檢測(cè)儀器,為自主研發(fā)提供了完備的硬件保障。 德龍激光立足,以“誠(chéng)信、敬業(yè)、團(tuán)隊(duì)、創(chuàng)新”的企業(yè)精神,經(jīng)過(guò)十多年的長(zhǎng)足發(fā)展,在同行及在客戶中贏得了口碑和信任,目前公司已進(jìn)入穩(wěn)定發(fā)展期。我們?cè)谔K州、無(wú)錫、廈門、深圳等地均設(shè)有下屬子公司,在美國(guó)、日本等地還設(shè)有境外子公司,為德龍激光化事業(yè)鋪設(shè)道路。
陶瓷激光切割機(jī)
AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工
晶圓激光開槽設(shè)備(low-k) 產(chǎn)品信息

AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進(jìn)行表面刻線,劃槽加工





設(shè)備優(yōu)勢(shì):

  ◆ 有效減小崩邊和脫層,提高良率

  ◆ 開槽寬度,深度可調(diào)節(jié)

  ◆ 全自動(dòng)運(yùn)行,集成保護(hù)液涂覆,晶圓開槽,清洗模塊


工藝流程:

  保護(hù)液涂覆---激光開槽---二流體水清洗





◆ 加工對(duì)象:low-k晶圓

◆ 激光種類:紫外半導(dǎo)體泵浦激光器

◆ 激光功率:≧5W

◆ 冷卻方式:封閉式循環(huán)水冷

◆ X軸:行程450mm,解析度0.1μm

◆ Y軸:行程500mm,解析度0.1μm

◆ Z軸:行程15mm,解析度0.1μm

◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°

◆ 開槽深度:>10μm

◆ 切割軸速度:0-500mm/s

◆ 加工尺寸:12寸

◆ 上表面精度:0.01mm/300mm 

◆ 清洗盤轉(zhuǎn)速:2500r/min

◆ 位置精度:0.01°

◆ 加工方式:正面開槽,全自動(dòng)加工

對(duì)焦方式:自動(dòng)對(duì)焦

◆ 打光系統(tǒng):點(diǎn)光源





應(yīng)用材料和領(lǐng)域:

  ◆ 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開槽

  ◆ 適用于表面需要進(jìn)行劃線或者開細(xì)槽加工的半導(dǎo)體晶圓


加工效果示例圖:

    





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