



二次電子像分辨率 | 0.8 nm(加速電壓 15 kV),1.0 nm(加速電壓 1 kV ) | ||
倍率 | Direct magnification: x25 to 1,000,000(120 x 90 mm) | ||
加速電壓 | 0.1 ~ 30 kV | ||
探針電流 | 數(shù) pA ~ 200 nA | ||
電子槍 | 浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
透鏡系統(tǒng) | 聚光鏡(CL)、 光闌角控制鏡(ACL)、 半浸沒式物鏡(OL) | ||
樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅(qū)動 | ||
電子檢測器系列 | 高位檢測器、 r‐過濾器 內(nèi)置、 低位檢測器 | ||
自動功能 | 自動聚焦、自動消象散、自動亮度/襯度調(diào)節(jié) | ||
圖像觀察用 | 屏幕尺寸 23英寸寬屏 | ||
抽真空系統(tǒng) | 電子槍室/中間室 SIP 離子泵 | ||




















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