4200-SCS系統(tǒng)是用于器件、材料和半導(dǎo)體工藝電氣特性分析的完整解決方案。這種的參數(shù)分析儀具有的測量靈敏
度和精度，同時集成了嵌入式Windows操作系統(tǒng)和吉時利交互式測試環(huán)境Interactive Test Environment，為用戶進(jìn)行半導(dǎo)體器件特性分析提供了直觀而高級的功能。它是一套功能*的單機(jī)解決方案。要想獲取某種器件或材料的特性參數(shù)，需要三種基本的電氣測量技術(shù)。4200-SCS提供了這三種功能：

● 精密直流電流-電壓（I-V）測量是實(shí)現(xiàn)器件電氣特性分析的基礎(chǔ)。
● 交流阻抗，包括大家熟知的電容-電壓（C-V）技術(shù)，能夠提供直流測量本身無法提供的器件特性。
● 脈沖和瞬態(tài)測試增加了一個時域維度，支持器件的動態(tài)特性分析。4200-SCS采用了模塊化、可配置、可升級的架構(gòu)。這使得它能夠準(zhǔn)確滿足當(dāng)前的測量需求，并通過擴(kuò)展?jié)M足后期的需求。它的9個儀器插槽可以混合配置4種核心測量模塊。
● 多達(dá)9個精密直流源-測量單元能夠提供和測量0.1fA到1A的電壓，或者1μV到210V的電壓。
● 利用4210-CVU（C-V模塊）可以方便的在1kHz到10MHz測試頻率下進(jìn)行交流阻抗測試?？梢詼y量的電容范圍從aF級到μF級。
● 利用4225-PMU超快I-V模塊可以進(jìn)行脈沖和瞬態(tài)測量。該模塊具有兩個獨(dú)立的電壓源，能夠以1V/ns的步幅調(diào)整電壓，輸出同時測量電壓和電流。當(dāng)安裝了多個模塊時，它們內(nèi)部同步的精度小于3ns。
● 選擇兩種不同的數(shù)字示波器模塊能夠方便而高效地生成數(shù)字波形。