設(shè)備介紹
Dimension Icon 可以實(shí)現(xiàn)所有主要的掃描探針成像技術(shù),其測試樣品尺寸可達(dá):直徑210mm,厚度15mm。溫度補(bǔ)償位置傳感器使Z-軸和X-Y軸的噪音分別保持在亞-埃級和埃級水平。對于大樣品、90微米掃描范圍的系統(tǒng)來說,這種噪音水平超越了所有的開環(huán)掃描高分辨率的原子力顯微鏡。全新的XYZ閉環(huán)掃描頭在不損失圖像質(zhì)量的前提下大大提高了掃描速度。
儀器型號
布魯克 Dimension Icon
技術(shù)參數(shù)
- X-Y方向掃描范圍90um *90um典型值,最小85um
- Z方向掃描范圍10um典型值,在成像及力曲線模式下;最小9.5um
- Z傳感器噪音水平(閉環(huán))35pm RMS, 典型成像帶寬(達(dá)到625Hz)
- 電動定位樣品臺(X-Y軸)180mm*180mm可視區(qū)域;單向2um重復(fù)性;雙向3um重復(fù)
案例展示
應(yīng)用范圍
Dimension Icon用于形貌,粗糙度及性能分析等。獲取樣品表面形貌信息,表面高度,粗糙度等信息。還可對進(jìn)行材料的力學(xué),電學(xué),摩擦力等性能表征。




















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