設(shè)備介紹
RegulusSU8100是日立的SEM的全新品牌,新品牌 "Regulus系列" 電子光學系統(tǒng)進行了化處理,使得著陸電壓在1kV時分辨率較前代機型提高了約20%。另外,低加速電壓下高分辨觀察的冷場電子槍可將樣品的細節(jié)放大,并獲得高質(zhì)量的圖片。放大倍率也由之前的100萬倍提高到了200萬倍。除此之外,為了能更好的應(yīng)對不同樣品的測試和保持并發(fā)揮出高性能,還對用戶輔助工能進行了強化,如信號檢測系統(tǒng)的操作輔助功能,維護輔助功能等。
儀器型號
日立SU-8100
技術(shù)參數(shù)
- 分辨率0.7 nm(15 kV),0.8 nm (1 kV)
- 加速電壓0.5-30KV
- 放大倍率20-1000000(底片輸出)
- 能譜儀元素分析范圍Be4-Pu94
案例展示
應(yīng)用范圍
掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應(yīng)用于納米材料、高分子復(fù)合材料、生物材料、能源類鋰電池材料/太陽能材料、礦物材料、冶金粉末、金屬材料、合金材料、陶瓷材料、半導(dǎo)體材料、考古文物等。近年來,新一代的電子器件應(yīng)用中受到廣泛期待的新型碳材料,高分子材料,復(fù)合材料等的研究作為科學技術(shù)的中堅技術(shù),在范圍內(nèi)受到熱捧。掃描電子顯微鏡廣泛用于這些材料的觀察和評價,但僅僅具有超高分辨率還遠遠不夠。還要求能在低加速電壓下對表面細微結(jié)構(gòu)的觀察和高靈敏度的元素分析。除此之外,在長期的研究過程中還追求電鏡的性能的持續(xù)穩(wěn)定和信賴性。






















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