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晶圓厚度及表面形貌測量設(shè)備

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常州銳奇精密測量技術(shù)有限公司是一家專注工業(yè)精密檢測的技術(shù)驅(qū)動型企業(yè),是由一支在光電測量和核探測領(lǐng)域擁有十多年研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)創(chuàng)建而成。公司擁有多項(xiàng)行業(yè)的在線測量關(guān)鍵核心技術(shù)和測量軟件核心算法,以及*的客戶需求定制能力,對測量傳感器的研究以及客戶現(xiàn)場應(yīng)用有著深入的理解和經(jīng)驗(yàn),對超薄材料和涂層、多層復(fù)合材料的厚度/面密度測量應(yīng)用,以及面密度全檢測量、超高精度3D輪廓檢測擁有行業(yè)技術(shù)優(yōu)勢。公司堅(jiān)持以“產(chǎn)品為王、技術(shù)為核”為經(jīng)營理念 ,以“行業(yè)技術(shù)進(jìn)步”為使命,堅(jiān)持持續(xù)創(chuàng)新和進(jìn)步,助力客戶,不斷為客戶提供滿意測量解決方案,創(chuàng)造客戶價(jià)值。公司目前已擁有豐富的在線測量產(chǎn)品線,可覆蓋大部分的行業(yè)應(yīng)用,公司業(yè)務(wù)布局:● 面密度測量:X射線測厚儀、X射線全檢面密度儀、β射線測厚儀、近紅在線外測厚● 3D光學(xué)輪廓測量:3D線光譜輪廓儀、光學(xué)干涉測厚儀、光譜共焦在線測厚儀● 成像檢測:x-ray成像檢測● 視覺自動化:CCD視覺檢測設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域:● 鋰電池極片涂布、鋰電池隔膜、鋰電隔膜涂覆、密封釘焊接檢測;● 塑料薄膜、紙張、金屬箔材、無紡布;金屬壓延、橡膠壓延、玻璃石墨導(dǎo)熱膜、半固化片;● 粘膠帶、標(biāo)簽紙、背膠面單、雙面膠、高型膠/離型紙、壓敏膠/熱敏膠、水性膠/油性膠;● 單層材料、多層復(fù)合材料、流延
國產(chǎn)在線測厚儀
采用非接觸式對射法測量;可測SiC,GaAs,InP,GaN等晶圓材料,滿足SEMI標(biāo)準(zhǔn),晶圓TTV BOW WARP 等測量。
晶圓厚度及表面形貌測量設(shè)備 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品技術(shù)

光譜共焦測量通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應(yīng)一個(gè)精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 用于碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、藍(lán)寶石等;

· 晶圓厚度、TTV(總厚度變化)、WARP(翹曲度)、BOW(彎曲度)等測量功能;

· 對射自動標(biāo)定功能,亞微米級精密感知;

· 三點(diǎn)固定,零損傷檢測保障;

· 相機(jī)快速定位,精準(zhǔn)檢測;

· AI時(shí)刻學(xué)習(xí),算法;

· 可定制自動化上下料;

采集模式

云圖數(shù)據(jù)

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