產(chǎn)品技術(shù)
光譜共焦測量通過使用特殊透鏡,延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍,形成特殊放大色差,使其根據(jù)不同的被測物體到透鏡的距離,會對應(yīng)一個(gè)精確波長的光聚焦到被測物體上。通過測量反射光的波長,就可以得到被測物體到透鏡的精確距離。
產(chǎn)品特點(diǎn)
· 用于碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、藍(lán)寶石等;
· 晶圓厚度、TTV(總厚度變化)、WARP(翹曲度)、BOW(彎曲度)等測量功能;
· 對射自動標(biāo)定功能,亞微米級精密感知;
· 三點(diǎn)固定,零損傷檢測保障;
· 相機(jī)快速定位,精準(zhǔn)檢測;
· AI時(shí)刻學(xué)習(xí),算法;
· 可定制自動化上下料;
采集模式
云圖數(shù)據(jù)


















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