產(chǎn)品技術(shù)
豐富的外觀圖和詳細(xì)的原始數(shù)據(jù):
? 線光譜位移傳感器
? 3D點云圖
? 2D輪廓圖
? 高清灰度圖
? 高清深度圖
一次掃描表面輪廓,即可生成高質(zhì)量的外觀圖和原始數(shù)據(jù)
3D線光譜共焦傳感器采用2048點/線,最小1.1μm間隔,可細(xì)致入微的呈現(xiàn)目標(biāo)物形狀,還可實現(xiàn)細(xì)微凹陷及凸起等外觀檢查。
Z軸重復(fù)精度0.1μm,超高精度為您提供更快、更準(zhǔn)確的測量結(jié)果。
3D線光譜共焦傳感器具備35000線/秒的超高速掃描速度,且易于集成到定制檢測系統(tǒng),可應(yīng)用于工廠流水線/復(fù)雜且大批量的高精度掃描場景中,實現(xiàn)物體表面多方位的3D成像分析。
產(chǎn)品特點
線光譜共焦傳感器:光斑尺寸:(1~10) μm * (1~19) mmX方向分辨率:1μm,Z軸重復(fù)精度:0.1μm采樣頻率:3.5KHz
重復(fù)精度(3σ):±0.3μm
高精度大理石三軸測量運動平臺。
可同時輸出2D圖/3D圖/ 灰度值/厚度值。
技術(shù)參數(shù)
| 項目 | 面密度(克重)測量(C - H) |
|---|---|
| 光斑尺寸 | (1~10) μm * (1~19) mm |
| X方向分辨率 | 1μm |
| Z軸重復(fù)精度 | 0.1μm |
| 采樣頻率 | 3.5KHz |
| 重復(fù)精度(3σ) | ±0.3μm |
應(yīng)用場景
■ 尺寸/形貌/斷層/孔隙/裂紋檢測。
■ 密封釘焊接缺陷檢測,極耳焊印檢測。
■ 涂布邊緣削薄區(qū)輪廓檢測、厚度全檢。
■ 半導(dǎo)體晶圓形貌檢測。




















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