使用嶄新的技術(shù),提供高速度與精確度,建立出可靠以及可信賴的量測系統(tǒng)。
該系統(tǒng)包括InSpec測量軟體,可程式化的光學(xué)變焦,3X的數(shù)碼變焦,非線性平臺補(bǔ)償,非線性光學(xué)補(bǔ)償,的LED光源系統(tǒng)以及溫度檢測儀。
InSpec測量軟體功能強(qiáng)大:使用滑鼠就能輕鬆編寫程式,專有的系統(tǒng)尋邊功能,的光源控制及校正功能,與複合感測器結(jié)合,自動校正,可清晰顯示測量資料及公差。
技術(shù)參數(shù)
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| Vertex 251HM/HC | Vertex 251 | Vertex 311 | Vertex 311UM/UC |
| 量測行程(mm) | 250x160x160 | 315x315x160 | ||
| 承載重量 | 10kg | |||
| XY軸精度(μm) | 2.0+L/200 | 1.8+L/200 | 2.5+L/200 | 2.0+L/200 |
| Z軸精度(μm) | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 |
| 解析度 | 0.1μm | |||
| 基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | |||
| 光學(xué)變焦 | 6.5x | 12x | 6.5x | 12x |
| 數(shù)位變焦 | 3x | |||
| 綜合倍率 | 20~390x/15~540x | |||















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