總代理德國thyracont鍍膜真空計(jì) 
一、Thyracont品牌核心優(yōu)勢(shì)

德國Thyracont成立于1970年，50余年專注真空測(cè)量技術(shù)創(chuàng)新，以高精度、耐用性及智能化為核心競(jìng)爭(zhēng)力。

Thryacont提供高精度的皮拉尼壓阻復(fù)合真空計(jì)、皮拉尼熱陰極、皮拉尼冷陰極復(fù)合真空計(jì)，精度高，滿足PVD鍍膜（濺射鍍膜）的高精度真空度檢測(cè)。

l 皮拉尼/熱陰極：VSH 1000到5x10~10mbar

l 皮拉尼/冷陰極：VSM 1000到5x10~9mbar

l 壓阻/皮拉尼：VSR 1200到1x 10~4mbar

l 皮拉尼：VSP1000到1x10~mbar

l 壓阻規(guī)：VSC43 1400到1mbar Piezo

l 電容規(guī)：VCC200 200到1x 10mbar

真空表優(yōu)勢(shì)：

• 具有16bar的超壓穩(wěn)定性，無需超壓閥，節(jié)約成本

• 響應(yīng)速度快，精度高

• 防護(hù)等級(jí)高可達(dá)IP54

• 法蘭處耐溫度，高達(dá)160攝氏度

• 輸出信號(hào):4-20mA,0- 10v, RS485, EtherCAT, Profinet滿足不同的控制系統(tǒng)連接

l PVD鍍膜的核心流程節(jié)點(diǎn)

2 PVD鍍膜流程主要分為粗抽階段、高抽階段、工藝沉積階段、后處理階段四個(gè)核心節(jié)點(diǎn)，每個(gè)節(jié)點(diǎn)對(duì)真空度的測(cè)量需求不同：

2 粗抽階段：從大氣壓力抽至102~10?1Pa，需要快速監(jiān)測(cè)低真空區(qū)間的壓力變化，判斷粗抽是否完成

2 高抽階段：從10?1Pa抽至10??~10??Pa，需要精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)高真空/超高真空區(qū)間的壓力，確保本底真空達(dá)標(biāo)

2 工藝沉積階段：根據(jù)不同工藝（蒸發(fā)/濺射/離子鍍）維持特定真空度，可能需要通入反應(yīng)氣體，需動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)真空度波動(dòng)

2 后處理階段：鍍膜完成后充氣或泄壓，需監(jiān)測(cè)真空度從高到低的變化，確保安全操作

PVD濺射鍍膜：

l 標(biāo)準(zhǔn)配置（3臺(tái)真空計(jì)）

• 1臺(tái)皮拉尼電阻真空計(jì)：負(fù)責(zé)粗抽階段的低真空測(cè)量---VSR53/VCR53

• 1臺(tái)冷、熱陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)高抽階段的高真空測(cè)量---VSM77/VSH87

• 1臺(tái)電容式薄膜真空計(jì)：負(fù)責(zé)工藝沉積階段的動(dòng)態(tài)真空度監(jiān)測(cè)（量程10?~10?3Pa）

• 適用場(chǎng)景：中型工業(yè)PVD生產(chǎn)線、對(duì)薄膜質(zhì)量要求較高的裝飾鍍膜或功能鍍膜工藝

l 優(yōu)勢(shì)：電容式薄膜真空計(jì)的響應(yīng)速度快、抗污染能力強(qiáng)，能精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)工藝沉積階段因通入反應(yīng)氣體導(dǎo)致的真空度波動(dòng)，保證薄膜成分均勻

l 劣勢(shì)：仍無法同時(shí)監(jiān)測(cè)多個(gè)腔體的真空度，若設(shè)備具有多個(gè)沉積腔體，可能存在測(cè)量盲區(qū)

l 高配置（4臺(tái)及以上真空計(jì)）

• 2臺(tái)皮拉尼電阻真空計(jì)：分別負(fù)責(zé)粗抽階段和后處理階段的低真空測(cè)量，避免交叉污染—VSR53/VSR54

• 1臺(tái)熱陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)高抽階段的高真空測(cè)量---VSH87

• 1臺(tái)冷陰極電離真空計(jì)：負(fù)責(zé)工藝沉積階段的超高真空測(cè)量---VSM77

• 額外的電容式薄膜真空計(jì)（按需配置）：每個(gè)沉積腔體配置1套，獨(dú)立監(jiān)測(cè)各腔體的真空度

• 適用場(chǎng)景：大型多腔體PVD設(shè)備、半導(dǎo)體晶圓鍍膜等對(duì)真空度精度要求高的高工藝

l 優(yōu)勢(shì)：多臺(tái)真空計(jì)分工明確，獨(dú)立監(jiān)測(cè)不同階段和腔體的真空度，確保每個(gè)環(huán)節(jié)的真空度精度都能滿足工藝要求，避免因單一真空計(jì)故障導(dǎo)致生產(chǎn)停滯

l 劣勢(shì)：設(shè)備成本和維護(hù)成本較高，對(duì)操作人員的專業(yè)要求也更高

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