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全自動立式退火爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱合肥真萍電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地合肥市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2026/4/28 11:43:22
  • 訪問次數(shù)86
產品標簽:

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合肥真萍電子科技有限公司坐落于”三國舊地、包拯故里”,四大“科教基地”之一,具有“創(chuàng)新高地”之稱,交通便利的安徽省會合肥市,總部位于清華啟迪科技城機器人產業(yè)園內;注冊資本1000萬,是一家專注于熱(+30-1600℃),真空(1-1*10-6torr),高壓(10MPa)等設備的企業(yè),目前已取得16項,已成為多家大規(guī)模研究中心及研究所專業(yè)設備供應商。 技術團隊主要由一批多年從事熱工、真空,結構、半導體等行業(yè)的專業(yè)工程技術人員為核心組成,現(xiàn)有研發(fā)人員20余人,均為本科及以上學歷。自有廠房和潔凈車間,是一家具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業(yè)。 真萍科技旗下現(xiàn)有二家工廠,上海工廠專注于烘烤制程類標準設備及環(huán)境與可靠性試驗設備,儲存專業(yè)設備;合肥工廠專注于熱處理非標設備,高溫高真空及高壓設備,半導體黃光區(qū)專用設備; 公司主要生產和經營以下產品: 1.烘烤制程設備:電熱鼓風烤箱、高溫烤箱、紅外/熱風烘箱、充氮烤箱、精密鼓風烤箱、隧道烘箱、厭氧固化爐,高溫無氧烘箱、Class100潔凈烤箱,壓力烤箱,真空干燥箱、高真空烤箱、高真空高溫烤箱、加熱臺等; 2.環(huán)境試驗設備:(高低溫試驗箱-超低溫試驗箱;可編程高低溫試驗箱;恒溫恒濕試箱;可編程高低溫交變濕熱試驗箱;溫度沖擊試驗設備;高低溫低氣壓試驗設備;熱老化箱;快速溫度變化試驗設備;溫度濕度振動三綜合驗箱;鹽霧腐蝕試驗箱; 3.熱處理設備:中溫氣氛箱式爐、高溫鐘罩爐、厚膜燒結網帶爐、氣氛熔封爐、干燥爐、干燥燒結一體爐、自動管式爐,真空烤盤爐等等。 4.黃光區(qū)設備:PI排氧固化爐,BCB無氧固化爐,PB0無氧固化爐,無塵無氧高溫烤箱,高溫爐,HMDS涂膠預處理系統(tǒng),HMDS涂膠機,全自動涂膠機,全自動濕影機,單片去膠機。 5.存儲設備:MSD專用超低濕防潮柜系列;氮氣柜系列;潔凈氮氣柜系列;氧濃度控制系列;環(huán)境溫濕度監(jiān)控系統(tǒng);氧濃度二氧化碳監(jiān)控系統(tǒng)系列; 本公司自成立之初,一直秉承客戶至上的服務理念,滿足客戶持續(xù)增長的需求,不斷為客戶提供品質優(yōu)良、價格合理的產品,降低客戶的生產成本,提高客戶的競爭力,為客戶創(chuàng)造價值。 在廣大客戶的支持下,本公司的業(yè)務蒸蒸日上。在航空、航天、電子、光電、半導體、、郵電、石油化工、制藥、醫(yī)療、生物工程、高等院校、科研單位等領域取得了良好的業(yè)績,得到廣大客戶的認同和稱贊,目前服務的客戶遍布沿海各省。 我們將努力為客戶提供一站式服務和多方面的解決方案,為客戶解決后顧之優(yōu),讓客戶安心的生產,將麻煩留給我們,選擇真萍科技就是選擇放心! 主要服務客戶: 硅材料 :上海合晶硅、晶盟硅材料、上海新傲、寧波金瑞泓、上海超硅、北京有研硅、天津中環(huán)、沈陽硅基等。半導體晶圓:臺積電(中國)、臺積電(南京)、大連英特爾、中芯國際、上海華力半導體、德州儀器、 杭州士蘭集成、華大基因、??雕Y拓、蘇州同冠、武漢新芯、華潤上華、 上海新進、華潤華晶、深圳深愛半導體、揚州揚杰、安徽安芯電子、山東海灣電子、君耀電子、新順微等等。 半導體封測:長電科技、長電、華天科技、中電58所、通富微、晶方半導體、蘇州科陽光電、華進半導體、寧波芯健、松下、華東科技、矽邁微電子、華潤安盛等等。 LED行業(yè):三安光電、德豪潤達、聚燦光電、華磊光電、兆元光電、乾照光電、兆馳光電、上海印瑞光電、南通同方、新廣聯(lián)半導體、士蘭明芯、博藍特光電、中圖半導體、中晶半導體等等。 化合物芯片:華興激光、華芯半導體、銳晶光電、武漢光迅、能華微、諾思微、新亮智能科技、半導體研究所、陜西光電子集成電路先導技術研究院、三安集成電路、武漢高德、??滴⒂暗鹊?。 液晶面板:京東方、龍騰光電、昆山國顯光電、深圳深超光電,上海和輝光電等等。 研究所大專院校:上海硅酸鹽研究所、北京有色金屬研究總院、中科院安徽 西安 上海光激所上海應用物理研究所、清華大學天津研究院、中科院光電所、重慶綠色智能技術研究院、中國電子集團第十三研究所、中科院固體所、中科院化學所、上海微技術開業(yè)研究院、清華大學、中國科 技大學、北京工業(yè)大學、北京大學、蘇州大學、西安交通大學、南京大學,安徽大學等等。 電子行業(yè):中國電子集團8、12、15、21、41、43所,尚德電力、諾基亞、西門子、英順達、廣達、仁寶工業(yè)、華碩電腦、富士康、步步高、等等。 汽車行業(yè):江淮、BYD、奇瑞等等 。 博物館紀念館:安徽省博物館、淮海戰(zhàn)役紀念館、淮南市博物館、泉州市博物館、金沙遺址博物館、松陽縣博物館、李劼人故居紀念館、浦江縣博物館、息烽集中營革命歷史紀念館、南寧市博物館、里耶秦簡博物館、何香凝美術館、福建博物院、四渡赤水紀念館等。 總部地址:中國.安徽省合肥市經濟技術開發(fā)區(qū)厚德路175號清華啟迪科技城
可編程低溫試驗箱
產品用途: 用于IC集成電路、MEMS、電力電子器件、光電子器件等領域,主要適用于6"、8"、12"晶圓的合金、退火等工藝。 退火是在中低溫條件下,通入惰性氣體(N2),消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷,優(yōu)化硅片界面質量的一種工藝。
全自動立式退火爐 產品信息

產品特點:

   1.一體式人機操作系統(tǒng),連續(xù)式自動化生產,工作效率高,節(jié)約人工成本、電能及工藝時間;

   2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好;

   3.優(yōu)質不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔凈度;


技術參數(shù):

TAST2075D112-N

TAST3075D112-N

處理產品

6/8/12inch 晶圓

 處理量 

 100PCS/管 

加熱器

圓形FEC加熱板

上料口

2個 

機械手

1

溫度范圍

長期使用溫度: 1050℃,溫度1200

升溫速率

10/min

降溫速率

5/min

爐溫均勻性

±℃(1050℃

加熱溫區(qū)

3

溫度控制方式

SSR

程序控制

P.I.D控制

爐膛材料

石英

保溫材料

陶瓷纖維

氣氛控制

多路流量計調節(jié)進氣,流量計量程0-150L/min  

 氣氛 

 N2 

排氣系統(tǒng)

在頂部設置排氣煙囪,用于廢氣排放,回收


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