產(chǎn)品概述
全自動(dòng)晶圓體轉(zhuǎn)移臺(tái)是一款專(zhuān)為精密半導(dǎo)體和二維材料研發(fā)設(shè)計(jì)的自動(dòng)化設(shè)備。該系統(tǒng)采用四軸精密控制技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的二維材料轉(zhuǎn)移與晶圓體搬運(yùn),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、納米技術(shù)、電子封裝等領(lǐng)域。
設(shè)備不僅具備穩(wěn)定的性能,還具有高靈活性與易操作性,適合實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線應(yīng)用。系統(tǒng)采用的熱控制技術(shù),確保在高精度操作的同時(shí),提供穩(wěn)定的溫控環(huán)境,提高實(shí)驗(yàn)效率與準(zhǔn)確性。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度轉(zhuǎn)移:系統(tǒng)支持四軸精密控制,能夠高效穩(wěn)定地進(jìn)行二維材料及晶圓的準(zhǔn)確轉(zhuǎn)移。
穩(wěn)定性與可靠性:設(shè)備設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)緊湊,優(yōu)化的熱管理系統(tǒng)保障精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
易操作性:操作界面簡(jiǎn)潔直觀,用戶(hù)可以輕松進(jìn)行設(shè)置與操作,適用于各種應(yīng)用場(chǎng)景。
高兼容性:能夠與其他實(shí)驗(yàn)設(shè)備和儀器系統(tǒng)兼容,靈活適應(yīng)不同的實(shí)驗(yàn)需求。
自動(dòng)化控制:全自動(dòng)運(yùn)行,減少人工干預(yù),提高工作效率與精度。
技術(shù)參數(shù):
1、二維材料轉(zhuǎn)移功能
轉(zhuǎn)移范圍:±25mm(X軸)、±25mm(Y軸)
較大觀測(cè)區(qū)域:0–16mm(垂直方向,觀測(cè)區(qū)域0–20mm)
2、電機(jī)控制
電機(jī)控制系統(tǒng):24V電機(jī)控制系統(tǒng),含直流電機(jī)與電機(jī)驅(qū)動(dòng)模塊
精度:步進(jìn)精度≤2μm,定位精度≤0.1mm
3、晶圓搬運(yùn)與定位
較大樣品重量:≤4 kg
較大載物高度:0–160mm(適配范圍)
4、加熱系統(tǒng)
支持TCM加熱平臺(tái),較大加熱溫度:350°C
溫控精度:±0.01°C
5、控制系統(tǒng)
支持Windows操作系統(tǒng),配備USB接口與RS-232通信
電源輸入:24V DC, 250W
6、操作與控制方式
采用觸摸屏控制面板,支持手動(dòng)/自動(dòng)模式切換
軟件支持:LabVIEW、PLC控制、X-BOX遠(yuǎn)程控制
7、環(huán)境要求
工作溫度:0°C至+80°C
工作濕度:≤80% RH




















锡林郭勒盟|
武陟县|
奎屯市|
蓬溪县|
砀山县|
枣庄市|
砀山县|
泾阳县|
工布江达县|
乐平市|
枣庄市|
扎鲁特旗|
余江县|
抚顺县|
天祝|
贡嘎县|
巴青县|
泌阳县|
秦皇岛市|
涿鹿县|
新津县|
武冈市|
延安市|
廉江市|
米脂县|
昂仁县|
迁安市|
固始县|
喜德县|
秦安县|
阿勒泰市|
台安县|
赤峰市|
延寿县|
宁安市|
嘉善县|
将乐县|
邓州市|
甘南县|
灵山县|
郑州市|