產(chǎn)品概述
全自動探針臺是一款高精度的自動化測試設(shè)備,專門為微電子和半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計。該設(shè)備采用的自動化控制系統(tǒng),可實現(xiàn)高精度的探針定位和樣品操作,廣泛應(yīng)用于集成電路、芯片測試以及材料分析等領(lǐng)域。
通過配備高性能CCD相機、自動化控制軟件和智能操作界面,全自動探針臺提供了精準(zhǔn)、高效的測試解決方案,滿足了現(xiàn)代科技實驗和工業(yè)生產(chǎn)的需求。憑借其優(yōu)異的穩(wěn)定性和靈活性,成為科研和生產(chǎn)中的重要工具。
技術(shù)參數(shù):
1、光學(xué)平臺
尺寸:60cm × 60cm,適用于多種測試需求配備高清工業(yè)級CCD,支持5X、10X、20X、50X長焦倍率
2、顯微鏡系統(tǒng)
配備三軸高精度CCD(支持更換CCD,適用于多種光學(xué)配置)
顯微鏡系統(tǒng):標(biāo)準(zhǔn)配置為合并環(huán)形照明及背光照明系統(tǒng),提供清晰的成像效果
4、探針臺功能
升降平臺:電動升降,行程可調(diào)(0.02–4mm/s)
XY軸:電動調(diào)節(jié),控制范圍為50mm × 50mm,支持360°旋轉(zhuǎn)
Z軸:電動調(diào)節(jié),較大行程為200mm
5、工作平臺
較大樣品尺寸:65mm × 65mm,適應(yīng)大多數(shù)材料和樣品類型
較大樣品重量:4kg
6、控制系統(tǒng)
支持XBOX控制,軟件控制,簡化操作流程
電氣控制:支持自動控制與手動模式切換,適應(yīng)不同的實驗需求
7、顯示與操作界面
配備高清顯示屏:780mm × 600mm,支持實時數(shù)據(jù)監(jiān)控與顯示支持多種軟件功能,增強測試的準(zhǔn)確性和靈活性
8、環(huán)境要求
溫度范圍:0°C至40°C
濕度范圍:≤80% RH




















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