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物理氣相沉積爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱成都超邁光電科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2026/7/27 10:56:00
  • 訪問次數(shù)33
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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       成都超邁光電科技有限公司,為國家標(biāo)準(zhǔn)擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟(jì)雙百企業(yè),已通過GB/T與GJB雙體系認(rèn)證。


       超邁公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升,具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測手段,已申請zhuanli60余項,軟件著作權(quán)50余項,擬定國家標(biāo)準(zhǔn)2項,行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項,為中國物理學(xué)會固體缺陷專家委員單位,全國電熱裝備標(biāo)準(zhǔn)化委員會單位,已形成工業(yè)級、科研級和特殊級三大產(chǎn)品系列,公司投入數(shù)億元在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園,共分兩期建設(shè),一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè),具備*的研發(fā)和制造能力。


刻蝕機,真空鍍膜機,真空爐
物理氣相沉積爐
物理氣相沉積爐 產(chǎn)品信息
產(chǎn) 品 說 明

該設(shè)備吸收德國某公司技術(shù)開發(fā),采用中頻感應(yīng)加熱方式,在真空條件下通過物理氣相傳輸法生長優(yōu)質(zhì)光學(xué)晶體,能夠生長碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料,可根據(jù)客戶實際需求定制。

本系統(tǒng)采用單室立式雙層水冷不銹鋼結(jié)構(gòu)。由爐膛、真空獲得系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、籽晶桿提拉旋轉(zhuǎn)機構(gòu)、坩堝桿拉送系統(tǒng)、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等組成,其技術(shù)指標(biāo)如下:

爐體

主爐膛

尺寸Φ610×850 mm

提拉機構(gòu)

轉(zhuǎn)速

0~30rpm

提拉速度連續(xù)可調(diào)范圍

0.06~6㎜/h

快提拉速度連續(xù)升降可調(diào)

≥40㎜/min

有效行程

410㎜

真空

主泵

分子泵

前級泵

油封泵(可選配干泵)

閥門

SUS304波紋管軸封高閥

極限真空

6.6×10-5Pa

系統(tǒng)漏率

停泵關(guān)機12小時后真空度≤10Pa

坩堝傳動機構(gòu)

轉(zhuǎn)速

0~30rpm變頻可調(diào)

升速范圍

0.03~6㎜/h可調(diào)

快提拉速度連續(xù)升降可調(diào)

≥40㎜/min

有效行程

560㎜

額定總功率

根據(jù)客戶需求確定中頻電源,推薦使用50KW

占地面積

主機+控制柜+中頻電源

2200×2500mm2

特別說明:對于采購國外設(shè)備進(jìn)行晶體生長且生長工藝嫻熟的研發(fā)人員,我司愿與其聯(lián)合研發(fā)共同制造,按照生長工藝定制生產(chǎn)設(shè)備。

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