1. 加熱方式:中頻感應(yīng)或電阻加熱,匹配專(zhuān)用高精度加熱電源,可調(diào)可控;
2. 工作溫度:溫度2600℃長(zhǎng)期運(yùn)行,可選配900℃、1300℃、1700℃、2300℃和2600℃,根據(jù)不同的工作溫度選用加熱方式和保溫材料,匹配專(zhuān)用熱場(chǎng)。
3. 儀表控溫精度:0.3級(jí),根據(jù)客戶(hù)實(shí)際使用溫度選配熱電偶,選用進(jìn)口30段溫控儀,匹配全數(shù)字化功率控制器,溫度控制精度±1℃,過(guò)沖不超過(guò)2℃;
4. 坩堝尺寸:根據(jù)客戶(hù)需求定制,可選擇坩堝尺寸和熱均勻區(qū)大小,若選熱均勻區(qū)大小,溫度偏差不超過(guò)2%,坩堝可選用鎢鉬、銥金、石墨和石英等難熔材料(銥金坩堝客戶(hù)自行采購(gòu));
5. 具有升溫速率調(diào)節(jié)功能,二路質(zhì)量流量計(jì)(可選),可選配氫氣保護(hù)條件下退火,默認(rèn)保護(hù)氣體為氮?dú)?、氬氣,?zhǔn)確度±1% F.S,線(xiàn)性±0.5 % F.S,重復(fù)精度±0.2% F.S;;
6. 極限真空度:優(yōu)于8×10-4 Pa(冷態(tài)、空載),選用分子泵系統(tǒng)為8×10-5 Pa;
7. 真空排氣機(jī)組采用水冷方式,默認(rèn)為擴(kuò)散泵高真空系統(tǒng),若對(duì)潔凈度有苛刻要求可選配分子泵無(wú)油真空系統(tǒng);
8. 設(shè)備的漏率:低于6.0×10-7 Pa·m3/s,全是用SUS304不銹鋼制造,內(nèi)拋光外電解或酸洗工藝;
9.真空測(cè)量:兩路電阻規(guī),一路電離規(guī);對(duì)真空室和真空管道分別精確監(jiān)控,帶數(shù)據(jù)通訊,測(cè)量范圍:1×105~1×10-5Pa,電阻規(guī)和電離規(guī)均采用防爆型金屬封結(jié)真空規(guī)。
10.標(biāo)準(zhǔn)配置為西門(mén)子PLC+人機(jī)界面,能夠執(zhí)行自動(dòng)抽真空、自動(dòng)溫壓強(qiáng)、自動(dòng)加熱、自動(dòng)運(yùn)行存儲(chǔ)工藝和自動(dòng)報(bào)警功能。




















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