Bruker Dektak Pro布魯克臺階儀
Dektak Pro™ 以其多功能,使用的便捷性和在薄膜厚度、臺階高度、應(yīng)力、表面粗糙度和晶圓翹曲測量方面廣受贊許。第十一代Dektak®系統(tǒng),具有4?重復(fù)性的表現(xiàn),并提供200毫米平臺選項(xiàng),在科研以及工業(yè)領(lǐng)域中可以為材料的表面形貌提供各種分析。Dektak Pro在表面測量方面設(shè)立了新的形象,是微電子技術(shù)、薄膜與涂層和生命科學(xué)應(yīng)用的理想選擇。
Dektak Pro可提供:
? 測量和分析功能,確保 每次都能獲得準(zhǔn)確、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)臄?shù)據(jù)
? 多功能性和便捷性,精簡的軟件和簡便的探針更換
? 通過直驅(qū)掃描平臺和軟件進(jìn)步,減少獲得結(jié)果的時(shí)間
Dektak Pro產(chǎn)品參數(shù)
| 測量技術(shù) | 探針輪廓測量(接觸測量) |
| 測量功能 | 二維表面輪廓測量;可選三維測量 |
| 樣品視野 | 可選放大倍率, 0.275到2.2 mm |
| 探針傳感器 | 低慣量傳感器(LIS 3) |
| 探針壓力 | 1到15 mg,使用LIS 3傳感器 |
| 低作用力 | N-Lite+ 精微力傳感器,0.03到15 mg(可選) |
| 探針選項(xiàng) | 探針半徑選項(xiàng)從50 nm到25 μm; 高徑比(HAR)針尖200 μm x 20 μm; 可根據(jù)客戶要求提供定制針尖 |
| 樣品臺 XY載物臺 | 手動(dòng)100 mm(4"),手動(dòng)調(diào)平; 電動(dòng)150 mm(6"),手動(dòng)調(diào)平; 帶編碼器電動(dòng)200 mm(8"),手動(dòng)調(diào)平 |
| 樣品旋轉(zhuǎn)臺 | 手動(dòng)或自動(dòng),連續(xù)360° |
| 減震裝置 | 減震裝置可用(選配) |
| 掃描長度范圍 | 55 mm(2");200 mm(8")具備掃描拼接能力 |
| 每次掃描數(shù)據(jù)點(diǎn) | 可達(dá)120,000個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn) |
| 樣品厚度可達(dá) | 50 mm (1.95") |
| 晶圓尺寸可達(dá) | 200 mm (8") |
| 臺階高度重復(fù)性 | 4 ?, 1 sigma ( ≤1 μm 標(biāo)準(zhǔn)臺階樣品) |
| 垂直范圍 | 1 mm (0.039") |
| 垂直分辨率 | 1 ? (@ 6.55 μm 范圍) |
| 輸入電壓 | 100 到 240 VAC, 50 到 60 Hz |
| 溫度范圍 | 工作范圍20到 25°C (68 到 77oF) |
| 濕度范圍 | ≤80%, 無冷凝 |
| 系統(tǒng)尺寸與重量 | 尺寸:455 mm W x 550 mm D x 370 mm H(17.9" W x 22.6" D x 14.5" H); 重量:34 kg(75 lb); 外殼尺寸:550 mm L x 585 mm W x 445 mm H(21.6" L x 23" W x 17.5" H); 外殼重量:5.0 kg(11 lb) |




















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