kashiyama MU系列 真空泵
kashiyama MU系列 真空泵特點:
·在蝕刻等中等負載工藝中實現低功耗表現
·占地面積較同類 20,000L/min 泵縮小約 35%
·增強工藝耐久性并提高能源效率
·符合各種標準的規(guī)范產品規(guī)格
·升級的工藝耐久性與節(jié)能性能
·產品符合多項國際標準規(guī)范

kashiyama MU系列 產品規(guī)格
型號 | MUP600E | MUP1200E | MUP1800E | MUH3000 |
大排氣速度(l/min) | 10000 | 19000 | 30000 | 50000 |
極限壓力(Pa) | 0.5 | |||
電源(50/60Hz) | 3P AC200-220V | |||
功率(kW) | 0.8 | 0.95 | 1.1 | 1.6 |
冷卻水量/N2量 | 2l/min | |||
氮氣吹掃 | 0-45 | 0-60 | ||
外形尺(LWH)mm | 695×285×655 | 850x380x950 | 910X420X900 | |



















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