kashiyamaMU系列真空泵·在蝕刻等中等負(fù)載工藝中實(shí)現(xiàn)低功耗表現(xiàn)·占地面積較同類20,000L/min泵縮小約35%·增強(qiáng)工藝耐久性并提高能源效率·符合各種標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)范產(chǎn)品規(guī)格·升級的工藝耐久性與節(jié)能性能