一、產品介紹

德國進口ISI ELBAZ0456過濾器，是面向精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景打造的帶梯度疊層燒結濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元，沒有沿用普通常規(guī)同規(guī)格過濾器依靠單一均質濾層直接攔截雜質的傳統(tǒng)直進直出思路，而是在半導體制造設備特種工藝氣體管路除雜布設、生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路過濾這類對低流阻高精度攔截、無二次析出要求嚴苛的場景需求層面做了梯度疊層燒結濾芯架構集成、側向進下向出低擾動流道布局專項優(yōu)化，針對普通常規(guī)均質濾層過濾器濾孔易快速堵塞、雜質攔截精度不足的常見問題做了316L不銹鋼全流道鏡面拋光工藝升級、快開卡扣式無工具端蓋結構調整，不用在過濾單元前后額外加裝多級串聯(lián)預過濾保護單元就能在單臺緊湊過濾單元上實現(xiàn)大顆粒預攔截+高精度精濾的梯度過濾和低流阻穩(wěn)定輸運的一體化作業(yè)，從根源上減少了普通常規(guī)均質濾層過濾器濾餅層易快速堆積堵塞、微小顆粒攔截效率不足的問題，在長期伴隨半導體制造設備特種工藝氣體管路除雜布設、生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路過濾的使用場景下，也能持續(xù)維持穩(wěn)定的高精度低流阻過濾性能與長周期高純介質復雜工況適配性能。

二、功能特點

梯度疊層燒結濾芯性能

單元的過濾器內部的核心過濾元件采用多層不同過濾精度的不銹鋼粉末梯度疊層燒結成型，從流體入口側到出口側濾層的過濾精度逐步提升，大尺寸雜質先被入口側粗濾層攔截，細小顆粒再被后側高精度濾層捕捉，雜質在整個濾芯的厚度方向上均勻分布堆積，不會在濾芯表面快速形成致密濾餅層，不會出現(xiàn)普通常規(guī)單一均質濾層的過濾器雜質僅堆積在表面短時間內就堵塞的情況，不用頻繁拆解更換新的濾芯，就可以大幅延長濾芯的整體納污容量，拉長過濾器的有效在線使用周期。

側向進下向出低擾動流道性能

單元的過濾器的流體進出接口采用側向入口接入、下向出口流出的特殊流道布局，流體進入過濾器腔體后先沿側向平緩流動再向下穿過濾芯，流道內部的流動狀態(tài)平緩穩(wěn)定，不會形成劇烈的局部湍流擾動，已經被攔截在濾芯內部的雜質不容易被二次沖刷帶出流道，不會出現(xiàn)普通常規(guī)上進下出直沖式流道的過濾器高速流體直接沖擊濾芯雜質易二次析出的情況，不用在過濾器下游額外加裝獨立的雜質二次攔截保護單元，就可以避免已經被攔截的雜質重新混入下游流體，保障下游流體的潔凈度穩(wěn)定。

316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能

單元的過濾器所有和流體直接接觸的金屬流道表面全部采用316L不銹鋼材質并做微米級精度的鏡面拋光處理，流道內壁的表面粗糙度控制在極低的數(shù)值區(qū)間，流道內壁幾乎不會吸附殘留的微量介質和微小顆粒，不容易積存頑固的殘留雜質，不會出現(xiàn)普通常規(guī)未做精密拋光的粗糙流道內壁易吸附介質積存雜質的情況，不用在正式投入使用前對過濾器做長時間的大流量循環(huán)沖洗，就可以快速將內部殘留的微量雜質沖洗干凈，縮短系統(tǒng)的開機準備時長。

快開卡扣式無工具端蓋性能

單元的過濾器的殼體端蓋采用快開卡扣式鎖緊結構設計，不需要借助任何專用工具，操作人員徒手就可以快速完成端蓋的開啟和鎖緊動作，拆解更換內部濾芯的操作過程非常簡便，不會出現(xiàn)普通常規(guī)多顆螺栓鎖緊端蓋的過濾器拆解更換濾芯時需要逐個擰動大量螺栓的情況，不用配備專用的拆裝工具，就可以快速完成濾芯的更換作業(yè)，大幅縮短日常維護的操作時長。

大通徑低阻適配性能

單元的過濾器的內部流體通徑經過專項優(yōu)化設計，流體穿過過濾器整個腔體的流動阻力控制在很低的區(qū)間內，即使在大流量流體連續(xù)輸送的工況下，過濾器前后的壓力損失也維持在很低的數(shù)值，不會出現(xiàn)普通常規(guī)小通徑過濾器大流量下壓力損失陡增的情況，不用在過濾器上游額外加裝大排量增壓元件補償壓力損失，就可以滿足大流量流體的順暢輸送要求，降低管路系統(tǒng)的整體運行能耗。

高精度微米級顆粒攔截性能

單元的梯度疊層燒結濾芯的最終出口側濾層的過濾精度達到微米級水平，流體中夾帶的微米級微小固體顆粒可以被有效攔截在濾芯內部，下游流出的流體的潔凈度可以長期維持在很高的等級，不會出現(xiàn)普通常規(guī)低精度過濾器無法有效攔截微米級微小顆粒的情況，不用在下游采樣位置額外加裝獨立的終端高精度過濾元件，就可以直接滿足多數(shù)精密工藝場景的高純流體潔凈度要求。

雙道食品級密封圈密封性能

單元的過濾器的端蓋和殼體的貼合位置配置了兩道獨立的食品級彈性密封圈，兩道密封圈之間預留了微小的泄漏檢測間隙，即使一道密封出現(xiàn)微小滲漏，滲漏的介質也會被第二道密封阻擋，同時可以通過預留的檢測孔外接檢漏傳感器實時監(jiān)測密封狀態(tài)，不會出現(xiàn)普通常規(guī)單道密封的過濾器密封失效后介質直接向外泄漏的情況，不用在端蓋貼合位置額外涂抹大量的液態(tài)密封膠，就可以實現(xiàn)殼體結合位置的可靠密封，同時支持在線密封狀態(tài)監(jiān)測。

標準通用管路接口性能

單元的過濾器的流體進出接口采用工業(yè)通用的標準規(guī)格管路連接端口，市面上常規(guī)的同規(guī)格工業(yè)流體管路接頭都可以直接和過濾器對接鎖緊，不需要額外定制特殊的非標轉接頭，不會出現(xiàn)普通常規(guī)非標準特殊接口的過濾器無法直接適配存量標準管路的情況，不用額外加工非標螺紋轉接零件，就可以直接和現(xiàn)場已有的流體管路快速對接，降低安裝配套的工作量。

三、選型指南

匹配目標過濾場景的基礎實際日常輸送的流體介質的腐蝕強度需求

先確認日常管路中輸送的流體介質的實際腐蝕強度，當前標準316L不銹鋼材質適配的多數(shù)常規(guī)高純氣體、高純試劑和弱腐蝕流體場景直接選用這款德國進口ISI ELBAZ0456過濾器標準版本即可滿足使用需求，配套強腐蝕性特殊化學介質的特殊場景，可選用同系列對應更高耐蝕合金材質的適配版本，進一步提升過濾器的整體介質耐受能力，適配強腐蝕高純介質的高精度過濾需求。

匹配現(xiàn)場實際工況的長期所處現(xiàn)場的常規(guī)流體中夾帶的固體顆粒濃度等級需求

確認過濾器長期接入的管路中流體夾帶的固體顆粒的實際濃度等級，當前標準常規(guī)納污容量適配的多數(shù)常規(guī)低顆粒濃度流體場景直接選用當前標準版本即可滿足使用需求，配套顆粒濃度長期偏高的特殊工況，可選用同系列對應高納污容量優(yōu)化的適配版本，進一步提升整套過濾器的整體納污能力，適配高顆粒濃度工況下的長期穩(wěn)定使用需求。

適配現(xiàn)場安裝點位的實際原有管路系統(tǒng)預留的接口連接方式需求

提前確認原有管路系統(tǒng)上預留的過濾器安裝接口的實際連接方式，當前標準常規(guī)快裝接口適配的多數(shù)存量常規(guī)工業(yè)潔凈管路場景直接選用當前標準版本即可滿足使用需求，配套存量老舊特殊非標準接口的老舊精密儀器改造場景，可選用同系列對應適配特殊接口的適配版本，進一步適配原有老舊管路的接口規(guī)格，適配存量老舊精密儀器改造的安裝場景。

適配高潔凈要求電子級超純水管路高精度過濾特殊工況需求

如果是用于長期在高潔凈半導體制造車間內部進行電子級超純水輸送管路高精度過濾的場景，可直接選用同系列對應增強型全流道超高潔凈無析出構型的適配版本，在保障基礎梯度疊層過濾性能的前提下進一步提升單元整體的超潔凈無析出等級，滿足高潔凈半導體制造車間工況下的長期穩(wěn)定使用要求。

四、技術參數(shù)

德國進口ISI ELBAZ0456過濾器，采用梯度疊層燒結濾芯架構搭配側向進下向出低擾動流道工藝布局，面向精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景打造的帶梯度疊層燒結濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元，適配對應ISI ELBA系列過濾器備件的標準參數(shù)，將過濾器通過殼體預留的安裝支耳固定在管路系統(tǒng)的預設安裝位置，確認過濾器固定牢固無晃動，將上下游的流體管路分別接入過濾器的側向入口和下向出口，確認所有管路連接牢固無滲漏，打開快開端蓋將全新的梯度疊層燒結濾芯裝入殼體內部的預設定位位置，確認濾芯安裝到位后扣合快開卡扣鎖緊端蓋，確認端蓋鎖緊牢固無松動，緩慢開啟上下游管路的控制閥門通入流體，核對過濾器整體無滲漏且下游流出流體潔凈度符合預期，確認所有功能正常后即可正式投入管路長期高精度過濾運行，梯度疊層濾芯實現(xiàn)分級攔截延長納污周期，側向進下向出流道避免雜質二次析出，全流道鏡面拋光減少介質吸附，快開無工具端蓋簡化維護操作，安裝固定、管路對接、濾芯裝填、性能核驗的全流程可同步完成，設計符合工業(yè)用高純介質高精度管路過濾器的相關行業(yè)技術規(guī)范，適配的常規(guī)系列型號ELBAZ0456的參數(shù)覆蓋多數(shù)精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景的運行條件，長期伴隨半導體制造設備特種工藝氣體管路除雜布設、生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路過濾的使用場景下運行狀態(tài)的穩(wěn)定性處于可控范圍，適配各類精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景配套專用帶梯度疊層燒結濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元的使用需求。

五、產品尺寸

核心高精度流體固體顆粒攔截功能單元本體尺寸

單元的整體緊湊型高純介質管路過濾器輪廓按照工業(yè)標準梯度疊層濾芯大通徑低阻過濾器的常規(guī)緊湊尺寸專項優(yōu)化，內部梯度疊層燒結濾芯、側向進下向出流道和快開端蓋的布局組合適配多數(shù)精密分析儀器設備內部有限的安裝空間，整臺單元的過濾器整體大外徑、總軸向高度、進出接口的外伸尺寸對應的外形尺寸控制在適配同系列ISI ELBA系列過濾器的合理范圍，安裝完成后過濾器的外輪廓不會和周邊管路系統(tǒng)的其他元件發(fā)生空間干涉的情況，保障常規(guī)精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景下的單元布設適配性。

配套關聯(lián)安裝與功能結構基準參數(shù)

單元的過濾器流體進出端適配的對應標準工業(yè)潔凈管路接頭的常規(guī)適配接口尺寸參數(shù)、適配的對應推薦常規(guī)額定大允許工作流量參考參數(shù)、過濾器的常規(guī)允許最長連續(xù)不間斷運行時長參考值，符合同系列ISI工業(yè)高純流體過濾元件的通用安裝規(guī)范，不用在原有精密分析儀器管路系統(tǒng)上為過濾器額外加工非標異形大尺寸安裝空間，就能直接完成整套過濾器的固定安裝與過濾性能調試，實現(xiàn)大顆粒預攔截+高精度精濾梯度過濾和低流阻穩(wěn)定輸運一體化作業(yè)核心功能單元的快速布設替換。

六、應用領域

大型半導體制造設備特種工藝氣體管路除雜布設場景

適配各類大型半導體制造設備特種工藝氣體管路的除雜作業(yè)，梯度疊層燒結濾芯性能多層梯度精度分級攔截雜質，無需頻繁拆解更換新濾芯，大幅延長在線使用周期，側向進下向出低擾動流道性能平緩低擾動流道避免雜質二次沖刷帶出，無需加裝下游二次攔截保護單元，保障下游流體潔凈度穩(wěn)定，半導體車間運維人員不用頻繁拆解更換新的濾芯，不用在過濾器下游額外加裝獨立的雜質二次攔截保護單元，拉長過濾器的有效在線使用周期。

大型生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路過濾場景

適配各類大型生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路的過濾作業(yè)，316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能全流道鏡面拋光降低介質吸附，無需長時間大流量循環(huán)沖洗，快速完成系統(tǒng)開機準備，快開卡扣式無工具端蓋性能徒手快開卡扣鎖緊端蓋，無需配備專用拆裝工具，大幅縮短濾芯更換時長，生物醫(yī)藥實驗室運維人員不用在正式投入使用前對過濾器做長時間的大流量循環(huán)沖洗，不用配備專用的拆裝工具，縮短系統(tǒng)的開機準備時長。

大型新能源鋰電池生產電解液輸送管路過濾場景

適配各類大型新能源鋰電池生產電解液輸送管路的過濾作業(yè)，大通徑低阻適配性能大通徑低流阻設計，無需加裝大排量增壓元件補償損失，降低管路系統(tǒng)運行能耗，高精度微米級顆粒攔截性能微米級高精度攔截微小顆粒，無需加裝下游終端高精度過濾元件，直接滿足高純流體潔凈度要求，鋰電池生產車間運維人員不用在過濾器上游額外加裝大排量增壓元件補償壓力損失，不用在下游采樣位置額外加裝獨立的終端高精度過濾元件，降低管路系統(tǒng)的整體運行能耗。

大型分析儀器氣相色譜載氣管路過濾場景

適配各類大型分析儀器氣相色譜載氣管路的過濾作業(yè)，雙道食品級密封圈密封性能雙道密封圈帶檢漏間隙，無需大量涂抹液態(tài)密封膠，支持在線監(jiān)測密封狀態(tài)，標準通用管路接口性能標準通用管路接口，無需定制非標螺紋轉接頭，直接對接存量標準管路，分析儀器運維人員不用在端蓋貼合位置額外涂抹大量的液態(tài)密封膠，不用額外加工非標螺紋轉接零件，降低安裝配套的工作量。

七、總結

德國進口ISI ELBAZ0456過濾器，憑借梯度疊層燒結濾芯設計、側向進下向出低擾動流道的差異化設計，解決了普通常規(guī)均質濾層過濾器濾餅層易快速堆積堵塞、微小顆粒攔截效率不足的常見痛點，316L不銹鋼全流道鏡面拋光性能、快開卡扣式無工具端蓋的特性覆蓋了大型半導體制造設備特種工藝氣體管路除雜布設、大型生物醫(yī)藥實驗室高純試劑輸送管路過濾、大型新能源鋰電池生產電解液輸送管路過濾等多類精密分析儀器高純工藝流體在線除雜場景配套的專用帶梯度疊層燒結濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元的使用需求，在工業(yè)高純介質高精度管路過濾器應用領域擁有廣泛的落地適配空間，是一款針對長期高潔凈低擾動精密流體復雜工業(yè)工況場景、免額外加裝多級串聯(lián)預過濾保護單元維護需求、存量普通常規(guī)均質濾層過濾器升級替換適配場景深度優(yōu)化的實用型專用工業(yè)配套帶梯度疊層燒結濾芯的大通徑低阻高精度流體固體顆粒攔截專用單元。

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