隨著傳感器產(chǎn)品質(zhì)量檔次的提升，加工技術(shù)的微精細化在傳感器的生產(chǎn)中占有越來越重要的地位。微機械加工技術(shù)是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的，它是離子束、電子束、激光束和化學(xué)刻蝕等用于微電子加工的技術(shù)，目前