（售價(jià)僅供參考）zonglen高低溫晶圓盤(pán)ThermoChuckATC-860，晶圓盤(pán)系統(tǒng)用于半導(dǎo)體晶圓的表征測(cè)試、建模、工藝開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)調(diào)試，去BUG或IC故障分析，具有所有主要分析探針臺(tái)集成所需的性能和多功能性。