產(chǎn)品用途：本產(chǎn)品主要面向SIC功率器件制造領(lǐng)域，在氮?dú)夥諊袑?duì)SIC/PI復(fù)合薄膜進(jìn)行600-1050℃的碳化處理，在碳化過(guò)程中，SIC納米粒子與PI作用形成化學(xué)鍵合，使其耐熱性得到提高。