應(yīng)用介紹：主要應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體，金屬電極，互聯(lián)線是用金屬剝離工藝，使光刻膠呈現(xiàn)倒梯形形貌，正常采用負(fù)膠工藝實(shí)現(xiàn)，因負(fù)膠有一定工藝難度和局部缺陷，例如分辨率不高，線寬均一性不好，倒梯形角度不穩(wěn)定等因素