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微小流量高精度控制，控制穩(wěn)定、無脈動(dòng)、無斷流，滿足薄膜沉積精密工藝要求。全流道無死區(qū)設(shè)計(jì)，低殘留、低吸附，保障超高純液體輸送潔凈度。響應(yīng)速度快、控流精度高，流量...
Grylls5900系列質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓...
Grylls5950系列質(zhì)量流量控制器采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓...
Grylls6600系列差壓式質(zhì)量流量控制器沒有附加的“比熱容"誤差。所以，即使測(cè)量氣體與出廠時(shí)的標(biāo)定氣體不同，也不會(huì)影響測(cè)量精度。
Grylls8101系列質(zhì)量流量計(jì)同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、流體密度和溫度并輸出，提供兩個(gè)級(jí)別的精度：液體測(cè)量為±0.2%R.D. 或氣體測(cè)量為±0.5%R.D.，足以...
氣體質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)原生半導(dǎo)體極設(shè)計(jì)，兼具高速、高精、高潔凈、高穩(wěn)定、高原創(chuàng)的五大核心優(yōu)勢(shì)。最快50ms極速響應(yīng);0.02%F.S.高重復(fù)性與+0.0...
三氯甲基硅烷專用 高精度流量控制，強(qiáng)耐腐蝕材質(zhì) 適配化工腐蝕性液體，流量調(diào)節(jié)精準(zhǔn)穩(wěn)定 無脈動(dòng)不泄漏，工業(yè)級(jí)品質(zhì) 運(yùn)行穩(wěn)定 使用壽命長，安裝便捷 密封可靠 安全環(huán)...
GRYLLS格里爾斯 液體科里奧利質(zhì)量流量計(jì) ， 40g/h-5kg/h；1kg/h-100kg/h；10kg/h-300kg/h-600kg/h科里奧利原理（...
高精度、高穩(wěn)定性、低泄漏、耐腐蝕、超高純氣體、快速響應(yīng)、數(shù)字顯示、RS485 通訊、MFC 質(zhì)量流量控制、CVD/PECVD/ALD 適用、半導(dǎo)體級(jí)、防爆、長壽...
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