真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-8L-S

名稱（Name）

真空式等離子處理系統(tǒng)

型號（Model）

CRF-VPO-8L-S

控制系統(tǒng)（Control system）

PLC+觸摸屏

電源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz,3kw

中頻電源功率（MF Power）

600W/13.56MHz

容量（Volume）

80L（Option）

層數(shù)（Electrode of plies）

8（Option）

有效處理面積（Area）

400（L）*300（W）（Option）

氣體通道（Gas）

兩路工作氣體可選： Ar、N2、CF4、O2

產(chǎn)品特點：超大處理空間，提升處理產(chǎn)能，采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng)，有效控制設(shè)備運行。

可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù)，滿足客戶的需求。

保養(yǎng)維修成本低，便于客戶成本控制。

高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，*的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

應(yīng)用范圍：主要適用于生物醫(yī)療行業(yè)，印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

 等離子清洗機在電子工業(yè)的使用情況如何呢?
等離子清洗機，也叫做等離子表面處理儀，是全新的高科技儀器，它利用活性組分的性質(zhì)對樣品表面進行處理處理，達到清潔的目的，除了具有清潔的作用外，還能夠進行活化和刻蝕等，廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域，下面給大家舉個例子：在電子工業(yè)清洗中的干法清洗,過程中需要真空泵制造一定的真空條件滿足清洗所需。下面來看看等離子清洗機的作業(yè)流程及注意事項。
等離子清洗所需要的等離子體主要通過特定的氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生,像低壓氣體輝光等離子體。簡單地說,等離子清洗需要在真空狀態(tài)下進行(一般需保持在100Pa左右),所以需要真空泵進行抽真空作業(yè)。
其主要過程包括:先將需要清洗的工件送入真空室固定,啟動真空泵等裝置開始抽真空排氣到10Pa左右的真空度;接著向真空室引入等離子清洗用的氣體(根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,選用的氣體也不同,如氧氣、氫氣、氬氣、氮氣等),并將壓力保持在100Pa左右;在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過輝光放電使其發(fā)生離子化,產(chǎn)生等離子體;在真空室內(nèi)產(chǎn)生的等離子體*覆蓋被清洗工件后,開始清洗作業(yè),清洗過程會持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
下面具體介紹下使用等離子清洗機要注意什么。 
1、在開啟等離子清洗機之前，要做好各種準(zhǔn)備工作，首先要對操作的工作人員進行技術(shù)方面的培訓(xùn)，讓他們能夠熟練掌握操作的程序，嚴(yán)格按照操作要求進行使用。 
2、在正式使用等離子清洗機之前，要對它運行時的參數(shù)進行正確的設(shè)置，并且要按照儀器的使用說明書去認(rèn)真的執(zhí)行操作，不能隨意地使用。 
3、要保護好等離子體的點火裝置，這樣才能保證等離子清洗機正常的開啟，要不然會導(dǎo)致開啟困難或者是開啟異常等。 
4、如果對一次風(fēng)管沒有通風(fēng)的情況下，要保證等離子體的發(fā)生器的運行時間在規(guī)定的時間內(nèi)，不能大于設(shè)備說明書上要求的時間，要不然會把燃燒器破壞掉，從而造成很多不必要的損失。
5、要定期進行維護和保養(yǎng)。在對等離子清洗機進行維護和保養(yǎng)
的時候，要先把設(shè)備的電源關(guān)閉，待斷電后才能進行相應(yīng)的操作，一定不能帶電操作，以防發(fā)生意外。