2"，直流無(wú)刷，1.2 kW，前置掛載，空氣軸承主軸（轉(zhuǎn)速60rpm），閉環(huán)轉(zhuǎn)臺(tái)。

經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于200 mm x 200 mm較薄和小公差產(chǎn)品的多角度切割，如：

? 光電組件

? PCB BGA面板

? 高亮LED封裝

? 硅晶圓

? SAW過(guò)濾器

? 玻璃/硅傳感器

? 微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）

? PZT

系統(tǒng)規(guī)格:

工件尺寸：200 x 200mm

刀片尺寸： 2"-3"

主軸：空氣軸承，直流無(wú)刷，60 krpm/1.2 kW

大功率2.4kW主軸（可選件）

分度軸（y）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)

控制：線性編碼器

分辨率： 0.2 µm

累積精度：1.5 µm

分度精度：1.0 µm

傳送軸（X）

氣動(dòng)滑塊

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配直流無(wú)刷電機(jī)

傳送速度：高達(dá) 600 mm/sec

切割深度軸（z）

驅(qū)動(dòng)裝置：滾珠軸承絲桿，配步進(jìn)電機(jī)

分辨率：0.2 µm

精度: 2.0 µm

重復(fù)精度: 1.0 µm

行程: 50 mm

旋轉(zhuǎn)編碼器

Z線性編碼器 - 可選

Z間隙高達(dá)3" - 可選

旋轉(zhuǎn)軸 (?)

驅(qū)動(dòng)：閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷

精度: 4 arc-sec

重復(fù)精度: 4 arc-sec

行程：350度

視覺(jué)系統(tǒng)

數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明（直射和斜射）

x55-x210或x35-x140（可選）連續(xù)數(shù)字變焦。

設(shè)施

電氣：200-240VAC，50/60Hz，單相

氣源：260 L/min @ 5.5 bar

主軸冷卻水：1.1 L/min 廠務(wù)端用水

切割用水：3L/min

尺寸（WXDXH）

965×1300×1600 mm

重量: 900 kg