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光學膜厚儀

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常州銳奇精密測量技術(shù)有限公司是一家專注工業(yè)精密檢測的技術(shù)驅(qū)動型企業(yè),是由一支在光電測量和核探測領(lǐng)域擁有十多年研發(fā)和應(yīng)用經(jīng)驗的技術(shù)團隊創(chuàng)建而成。公司擁有多項行業(yè)的在線測量關(guān)鍵核心技術(shù)和測量軟件核心算法,以及*的客戶需求定制能力,對測量傳感器的研究以及客戶現(xiàn)場應(yīng)用有著深入的理解和經(jīng)驗,對超薄材料和涂層、多層復(fù)合材料的厚度/面密度測量應(yīng)用,以及面密度全檢測量、超高精度3D輪廓檢測擁有行業(yè)技術(shù)優(yōu)勢。公司堅持以“產(chǎn)品為王、技術(shù)為核”為經(jīng)營理念 ,以“行業(yè)技術(shù)進步”為使命,堅持持續(xù)創(chuàng)新和進步,助力客戶,不斷為客戶提供滿意測量解決方案,創(chuàng)造客戶價值。公司目前已擁有豐富的在線測量產(chǎn)品線,可覆蓋大部分的行業(yè)應(yīng)用,公司業(yè)務(wù)布局:● 面密度測量:X射線測厚儀、X射線全檢面密度儀、β射線測厚儀、近紅在線外測厚● 3D光學輪廓測量:3D線光譜輪廓儀、光學干涉測厚儀、光譜共焦在線測厚儀● 成像檢測:x-ray成像檢測● 視覺自動化:CCD視覺檢測設(shè)備主要應(yīng)用領(lǐng)域:● 鋰電池極片涂布、鋰電池隔膜、鋰電隔膜涂覆、密封釘焊接檢測;● 塑料薄膜、紙張、金屬箔材、無紡布;金屬壓延、橡膠壓延、玻璃石墨導(dǎo)熱膜、半固化片;● 粘膠帶、標簽紙、背膠面單、雙面膠、高型膠/離型紙、壓敏膠/熱敏膠、水性膠/油性膠;● 單層材料、多層復(fù)合材料、流延
國產(chǎn)在線測厚儀
根據(jù)分光干涉條紋的周期和薄膜厚度的關(guān)系,利用傅立葉變換方法,解析薄膜的厚度。
光學膜厚儀 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品技術(shù)

白色照明光源垂直照射到待測薄膜,一部分光經(jīng)過薄膜上表面的反射,返回到分光儀。另一部分透過薄膜上表面,經(jīng)過薄膜與底層之間的界面反射,返回到分光儀。這兩束光在分光儀的光電轉(zhuǎn)換器表面重合,形成分光干涉條紋。根據(jù)分光干涉條紋的周期和薄膜厚度的關(guān)系,利用傅立葉變換方法,解析薄膜的厚度。在薄膜厚度解析過程,利用不同類型材料的相應(yīng)參數(shù)修訂解析模型,從而進一步提高不同類型材料膜厚測量的準確性




應(yīng)用領(lǐng)域

可應(yīng)用于光伏、高分子材料薄膜層的厚度測量, 半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅)、液晶顯示屏測量、汽車玻璃、光學鍍膜測量、聚合物涂料、太陽能電池薄膜測量



薄膜厚度和分光干涉條紋之間關(guān)系示意圖

產(chǎn)品型號光學膜厚儀
產(chǎn)品編號RQ - 01RQ - 02RQ - 03RQ - 04
測量類型薄膜型常規(guī)型常規(guī)型 - II硅專用型
波長范圍190 - 1100nm350 - 1020nm380 - 960nm950 - 1100nm
測量厚度(n = 1.5)1nm - 50μm10nm - 80μm500nm - 260μm10μm - 1400μm
(n = 3.5) / Siuu1μm - 75μm5μm - 600μm
準確度0.2% 或 1nm(取較大值)0.2% 或 2nm0.4% 或 5nm
重復(fù)性0.1nm0.2nm1nm
測量層數(shù)單層和多層單層單層
分辨率0.1nm(測量結(jié)果顯示最小值)
測量模式反射法
入射角90°
測試材料透明或半透明的薄膜材料
測量時間100ms/Point(頻率 300HZ)
工作距離10 - 50mm(物鏡前端至樣品表面距離)
測量視野25μm - 1mm(和使用的物鏡有關(guān))
在線測量可以(適用于多通道測量)
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