儀器主要構(gòu)成:
1、手套箱:對(duì)氧化不敏感工件可不配;工作氛圍:惰性氣體,選配真空氛圍;腔室溫度:工業(yè)空調(diào)控溫;過渡倉(cāng):真空小過渡倉(cāng),可選配大過渡倉(cāng);1.5工位,可選配多工位;
2、循環(huán)水冷模塊;
3、循環(huán)氣冷模塊;
4、壁掛式計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(含集成電路);
5、全溫場(chǎng)高溫加熱爐
6、1200℃大量程動(dòng)態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng):標(biāo)配30kg力,選配1~150kg力;
7、1200℃光學(xué)成像與氣控系統(tǒng):10X物鏡,可選配20X物鏡
8、1300℃高溫壓針模塊:正四棱錐壓針,選配球形、圓錐、錐形、圓柱等
9、1200℃快速換樣系統(tǒng):同溫場(chǎng)50秒內(nèi)快速換樣
10、高溫集成電路多軸聯(lián)動(dòng)控制與補(bǔ)償系統(tǒng):至多9軸同步運(yùn)動(dòng)控制
11、高溫圖像識(shí)別與數(shù)據(jù)分析處理系統(tǒng)
12、高溫動(dòng)態(tài)位移檢測(cè)與校準(zhǔn)系統(tǒng):500nm,選配>20nm分辨率激光位移;
儀器的主要功能:
1、材料性能評(píng)價(jià):維氏硬度(可選配洛氏、布氏等)、斷裂韌性、選配彈性模量(A類、B類等)、選配劃痕、選配蠕變、選配金相等。
2、功能指標(biāo)評(píng)價(jià):實(shí)時(shí)力值、實(shí)時(shí)位移、同溫場(chǎng)溫度、表面形貌(壓痕、裂紋、劃痕等)、表面形貌特征(菱形、球形、圓錐、錐形、圓柱等)。
3、操控指標(biāo)評(píng)價(jià):定位移加載、定力值加載、定速度加載、多軸高精度同步運(yùn)動(dòng)控制、同溫場(chǎng)高通量測(cè)試、同溫場(chǎng)快速換樣測(cè)試、同溫場(chǎng)原位測(cè)試、溫度梯度(溫升溫降)原位測(cè)試等。
4、過程指標(biāo)評(píng)價(jià):定時(shí)間壓針預(yù)熱、定時(shí)間加載、定時(shí)間保荷(長(zhǎng)達(dá)72小時(shí)原位保荷)、定時(shí)間卸載、長(zhǎng)時(shí)間原位觀測(cè)、大樣品同溫場(chǎng)連續(xù)測(cè)試、力-位移-時(shí)間實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)等。
儀器的主要參數(shù):
1.全溫場(chǎng)溫度控制系統(tǒng)
使用溫度范圍200℃~1200℃
爐腔溫度范圍≤1300℃
溫控精度≤±0.3℃
溫度場(chǎng)梯度誤差≤±5℃
升溫速率范圍1℃~40℃/min
爐腔溫場(chǎng)尺寸100*80*80mm
試樣尺寸≤φ30*30mm
加熱元件硅碳棒
控溫?zé)犭娕?/span>S型鉑銠熱電偶
2.大量程動(dòng)態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng)
加載力值范圍0.1~30kg
力值檔位固定檔位/自定義力值
固定檔位力值標(biāo)配61檔
自定義力值輸入力值
加載方式定力值/定位移/定速度
定力值加載精度≤1kg時(shí)±2%;>1kg時(shí)±0.5%
定力值加載分辨率0.01%FS
定位移加載分辨率500nm(選配20nm~500nm)
加載過程實(shí)時(shí)力值、位移、時(shí)間數(shù)據(jù)
保荷時(shí)間≤72小時(shí)
傳感器耐高溫力值傳感器、激光位移傳感器
3.壓針預(yù)熱模組
預(yù)熱時(shí)長(zhǎng)≤50小時(shí)
預(yù)熱時(shí)間自定義,單位min或s
預(yù)熱溫度≤1300℃
4.高溫光學(xué)成像與測(cè)試系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)10X物鏡(選配20X物鏡)
系統(tǒng)顯示放大倍數(shù)1000X(選配2000X)
物鏡分辨率1.44um,選配1.19um
物鏡工作溫度≤1200℃
單次持續(xù)工作時(shí)間≤50小時(shí)
5.樣品快速更換系統(tǒng)
更換方式手動(dòng),選配自動(dòng)
更換時(shí)長(zhǎng)≤50秒
系統(tǒng)極限溫度≤1300℃
系統(tǒng)測(cè)試環(huán)境≤1200℃
6.高溫聯(lián)動(dòng)控制與補(bǔ)償系統(tǒng)
聯(lián)動(dòng)軸數(shù)5軸(選配6~8軸)
運(yùn)動(dòng)控制精度≤±1um
運(yùn)動(dòng)控制速度≤5000um/s
運(yùn)動(dòng)控制分辨率≤0.1um
運(yùn)動(dòng)控制方式自動(dòng)
X軸行程(橫軸)250mm
Y-A軸行程(10X物鏡)90mm
Y-B軸行程(20X物鏡)90mm
Y-C軸行程(壓針)100mm
Y-D軸行程220mm
Z軸行程(樣品升降軸)100mm
R-X軸行程360
7.循環(huán)水冷模塊
流量13L/min
8.循環(huán)氣冷模塊
介質(zhì)惰性氣體
冷卻時(shí)間≤5秒
氣壓0.8Mpa
冷卻溫度≤55℃
持續(xù)工作時(shí)間≤72小時(shí)
9.風(fēng)冷模組
冷卻組數(shù)4
冷卻角90°
10.高溫壓針模組
可修復(fù)次數(shù)≤20次
單次加載持續(xù)時(shí)間≤72小時(shí)
全尺寸1300型壓針110mm*φ8(可選配110mm*φ6.35)
11.手套箱
水氧指標(biāo)≤1ppm
工位數(shù)1.0
尺寸2200*1420*2270mm
腔室尺寸1350*950*1400mm
箱體材質(zhì)、厚度304不銹鋼、5mm
箱體底板材質(zhì)、厚度304不銹鋼、12mm
12.工作腔室溫控模塊
額定制冷量1050W
制冷劑R134a
溫度范圍15~36℃
噪音≤63dB(A)
11.儀器安置參數(shù)
儀器外形尺寸2400*1500*2350mm(安置空間大于長(zhǎng)3800*寬2000*高2800mm)
儀器重量1800kg(環(huán)境無振動(dòng))
氣源99.999%高純氬氣等
電源220V(功率>6.5KW)


















