儀器主要構(gòu)成：
1、手套箱：對氧化不敏感工件可不配；工作氛圍：惰性氣體，選配真空氛圍；腔室溫度：過渡倉：真空小過渡倉，可選配大過渡倉；1.5工位，可選配多工位；
2、循環(huán)氣冷模塊；
3、壁掛式計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（含集成電路）；
4、全溫場高溫加熱爐
5、600℃大量程動態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng)：標(biāo)配30kg力，選配1~150kg力；
6、600℃光學(xué)成像與氣控系統(tǒng)：10X物鏡，可選配20X物鏡
7、600℃高溫壓針模塊：正四棱錐壓針，選配球形、圓錐、錐形、圓柱等
8、600℃快速換樣系統(tǒng)：同溫場50秒內(nèi)快速換樣
9、高溫集成電路多軸聯(lián)動控制與補(bǔ)償系統(tǒng)：至多9軸同步運(yùn)動控制
10、高溫圖像識別與數(shù)據(jù)分析處理系統(tǒng)
11、高溫動態(tài)位移檢測與校準(zhǔn)系統(tǒng)：500nm，選配＞20nm分辨率激光位移；

儀器的主要功能：
1、材料性能評價：維氏硬度（可選配洛氏、布氏等）、斷裂韌性、選配彈性模量（A類、B類等）、選配劃痕、選配蠕變、選配金相等。
2、功能指標(biāo)評價：實(shí)時力值、實(shí)時位移、同溫場溫度、表面形貌（壓痕、裂紋、劃痕等）、表面形貌特征（菱形、球形、圓錐、錐形、圓柱等）。
3、操控指標(biāo)評價：定位移加載、定力值加載、定速度加載、多軸高精度同步運(yùn)動控制、同溫場高通量測試、同溫場快速換樣測試、同溫場原位測試、溫度梯度（溫升溫降）原位測試等。
4、過程指標(biāo)評價：定時間壓針預(yù)熱、定時間加載、定時間保荷（長達(dá)72小時原位保荷）、定時間卸載、長時間原位觀測、大樣品同溫場連續(xù)測試、力-位移-時間實(shí)時數(shù)據(jù)等。

儀器的主要參數(shù)：

• 1.全溫場溫度控制系統(tǒng)

• 使用溫度范圍室溫~600℃

• 爐腔溫度范圍≤700℃

• 溫控精度±1℃

• 溫度場梯度誤差≤±5℃

• 升溫速率范圍1℃~40℃/min

• 爐腔溫場尺寸100*80*80mm

• 試樣尺寸≤φ30*30mm

• 加熱元件HRE高溫合金

• 控溫?zé)犭娕?/span>S型熱電偶

• 2.大量程動態(tài)加載與補(bǔ)償系統(tǒng)

• 加載力值范圍0.1~30kg

• 力值檔位固定檔位/自定義力值

• 固定檔位力值標(biāo)配61檔

• 自定義力值輸入力值

• 加載方式定力值/定位移/定速度

• 定力值加載精度≤1kg時±2%；＞1kg時±0.5%

• 定力值加載分辨率0.01%FS

• 定位移加載分辨率500nm(選配20nm~500nm)

• 加載過程實(shí)時力值、位移、時間數(shù)據(jù)

• 保荷時間≤72小時

• 傳感器耐高溫力值傳感器、激光位移傳感器

• 3.壓針預(yù)熱模組

• 預(yù)熱時長≤50小時

• 預(yù)熱時間自定義，單位min或s

• 預(yù)熱溫度≤600℃

• 4.高溫光學(xué)成像與測試系統(tǒng)

• 物鏡放大倍數(shù)10X物鏡(選配20X物鏡)

• 系統(tǒng)顯示放大倍數(shù)1000X(選配2000X)

• 物鏡分辨率1.44um，選配1.19um

• 物鏡工作溫度≤600℃

• 單次持續(xù)工作時間≤50小時

• 5.樣品快速更換系統(tǒng)

• 更換方式手動，選配自動

• 更換時長≤50秒

• 系統(tǒng)極限溫度≤700℃

• 系統(tǒng)測試環(huán)境≤600℃

• 6.高溫聯(lián)動控制與補(bǔ)償系統(tǒng)

• 聯(lián)動軸數(shù)5軸(選配6~8軸)

• 運(yùn)動控制精度≤±1um

• 運(yùn)動控制速度≤5000um/s

• 運(yùn)動控制分辨率≤0.1um

• 運(yùn)動控制方式自動

• X軸行程（橫軸）250mm

• Y-A軸行程（10X物鏡）90mm

• Y-B軸行程（20X物鏡）90mm

• Y-C軸行程（壓針）100mm

• Y-D軸行程220mm

• Z軸行程（樣品升降軸）100mm

• R-X軸行程360

• 7.循環(huán)氣冷模塊

• 介質(zhì)惰性氣體

• 冷卻時間≤5秒

• 氣壓0.8Mpa

• 冷卻溫度≤55℃

• 持續(xù)工作時間≤72小時

• 8.風(fēng)冷模組

• 冷卻組數(shù)4

• 冷卻角90°

• 9.高溫壓針模組

• 材質(zhì)立方氮化硼CBN、接桿為鎳鉻合金

• 鎳鉻合金總長110mm

• 是否可修復(fù)否

• 選配可修復(fù)全尺寸1700型壓針110mm*φ8(可選配110mm*φ6.35)

• 10.手套箱

• 水氧指標(biāo)≤1ppm

• 工位數(shù)1.0

• 尺寸2200*1420*2270mm

• 腔室尺寸1350*950*1400mm

• 箱體材質(zhì)、厚度304不銹鋼、5mm

• 箱體底板材質(zhì)、厚度304不銹鋼、12mm

• 11.儀器安置參數(shù)

• 儀器外形尺寸2400*1500*2350mm(安置空間大于長3800*寬2000*高2800mm)

• 儀器重量1800kg(環(huán)境無振動)

• 氣源99.999%高純氬氣等

• 電源220V(功率＞6.5KW)