半導(dǎo)體晶圓腐蝕清洗系統(tǒng)采用半導(dǎo)體工藝要求的材料和工藝流程，可設(shè)計腐蝕槽清洗槽等工藝組合通討PLC加觸摸屏組合設(shè)計控制，可對硅晶圓實(shí)現(xiàn)需要的硅腐蝕HF處理沖水超聲吹干等工藝過程。